з ртуттю. Розміри одержуваного кульки ртуті залежать від часу впливу парів ртуті на структуру і температури ртутного резервуара.
. 4 Магнітні перемикачі
Включення магнітних приводів може виконуватися без подачі зовнішньої електроенергії за допомогою постійних магнітів або напівтвердих феромагнітних матеріалів. Висока щільність магнітної енергії дозволяє розвивати досить великі зусилля і тривалий час утримувати контакти в замкнутому стані. Незважаючи на те, що при зменшенні розмірів відбувається ослаблення магнітної сили, при величині зазору більше 1 мкм магнітний привід все ж перевершує електростатичний за величиною вироблених зусиль. Тому магнітні приводи є вельми перспективними пристроями для створення мікропристроїв. Високоефективні постійні магніти дозволяють створювати електромагнітні двигуни діаметром менше 1 мм. Також робляться спроби створення планарних електромагнітних приводів на основі застосування методів гальванічного нанесення магнітних матеріалів. При зменшенні розмірів електромагнітних приводів найскладнішим є зниження розмірів котушок, що дуже важко зробити з технологічної точки зору.
. 5 Електромагнітні перемикачі
В останні роки все більше збільшується попит на електромагнітні реле (ЕМР), включаючи реле з рухомим якорем, герконовиє і твердотільні реле, що з'явилися у вісімдесятих роках двадцятого століття, оскільки вони володіють високою надійністю, довговічністю і незначних механічних зносом (Coutrot et al, 2 001, Sadler, Liakopoulos, Ahn, 2000). ЕМР в порівнянні з традиційними твердотільними реле володіють нижчими опором в замкнутому стані і витоками в розімкнутому стані, невисокою вихідною ємністю і великий електромагнітної захистом. Однак майже всі ЕМР, за винятком сучасних твердотільних реле, мають досить великі розміри і проблеми при інтеграції з електронними пристроями, схильні до впливу ударів і вібрації, володіють великим енергоспоживанням і виробляють при роботі високий акустичний шум. У сучасних реле усунені практично всі перераховані недоліки при збереженні всіх достоїнств традиційних ЕМР.
Основні обмеження традиційних ЕМР пов'язані з наявністю в їх приводах котушок і феромагнітних якорів. Реле допускають застосування інших принципів дії приводів, які можуть бути електростатичними і електромагнітними. Електромагнітні приводи переважніше електростатичних, оскільки можуть працювати з недорогими і низьковольтними пристроями управління. У той час як електростатичним приводам вимагається низький струм, але порівняно висока напруга 5 ... 100 В, що тягне за собою створення спеціальних керуючих пристроїв і ланцюгів високовольтної ізоляції. Постійні магніти або напівтверді магнітні матеріали дозволяють створити електромагнітні реле з функцією самозащелківанія.
. 6 Термічні перемикачі
Поряд з незаперечними перевагами реле мають і недоліки. Наприклад, виготовлення котушок, що входять до складу електромагнітних приводів, є досить складним технологічним процесом, оскільки в реле вони повинні бути планар-ними. Одним із способів спрощення магнітних приводів є усунення котушок, т. Е. Побудова бескатушечних магнітних приводів на кремнієвій підкладці. Для цього був розроблений термічно керований магнітний привід, що запускається зміною локальної намагніченості структури методом точкового розігрівання за допомогою інфрачервоного (ІЧ) лазерного променя. Усунення котушки не лише спрощує магнітний привід, але і дозволяє при його виготовленні використовувати мікротехнології.
Малюнок 11 - Принцип дії термічного реле
Висновок
Ключі на польових транзисторах і PIN-діодах є найбільш поширеними переключающими елементами в сучасних ВЧ і СВЧ інтегральних схемах. Недоліками багатьох напівпровідникових ключів є великі вносяться втрати у включеному стані і поганий коефіцієнт розв'язки у вимкненому стані. Тому в даний час активно розробляються механічні мікроключі для перемикання ВЧ сигналів. Сучасний рівень мікротехнологій дозволяє вбудовувати такі микропереключатели в ВЧ мікросистеми. Мікроперемикачі з електростатичним приводом володіють низькими вносяться втратами, незначним енергоспоживанням, хорошим коефіцієнтом розв'язки і високою лінійністю.
Мікроперемикачі, як правило, виготовляються методами поверхневої технології, при яких відбувається витравлювання захисних шарів, наприклад, оксидних, для отримання структури ключа. Складною проблемою є об'єднання технологій виробництва мікроперемикачів з традиційними методами виготовлення ІС, таких як КМОП (комплементарні метало-оксидні напівпровідникові) і GaAs структури.
