ера прієднана помощью болтового з єднання з гумово прокладкою. Високий вакуум вимірюється помощью манометрічніх перетворювачів ПМІ - 2 (11) виготовленя в виде скляної лампи. Перетворювач ПМІ - 2 впаяній в коварову трубку яка вварена в перехідник з нержавіючої сталі. Крім того при необхідності високий вакуум может буті віміряній помощью магнітного Перетворювач мід.
Рис. 4.1. Блок-схема вакуумної установки УВЛ - 8: 1 - форвакуумним насос; 2,3,4 - манометрічні перетворювачі ПМТ - 4; 5 - електромагнітній клапан; 6 - форвакуумним балон; 7 - діфузійній насос Н - 100; 8 - азотні уловлювач; 9 - вісоковакуумній клапан; 10 - вісоковакуумна камера; 11 - манометрічній перетворювач ПМІ - 2; 12 - манометрічній перетворювач мід; 13 - дозуючій вентиль; 14 - Байпасна вентиль ДУ - 6. 15 - аналізатор мас-спектрометра МХ7303.
Байпасна МАГІСТРАЛЬ необхідна для создания попередня вакууму в робочій камері при Закритому вісоковакуумному клапані (9). Через вісоковакуумній вентиль (14) при Закритому клапані К - 1 (5) камера відкачується безпосередно форвакуумним насосом.
Рис. 4.2. Загальний вигляд універсальної вакуумної установки УВЛ - 8: 1 блок живлення установки, 2- блок живлення автоматичної системи напуском газів СНУ - 2, 3 вакууметр ВІТ - 3, 4 самописна потенціометр КСП - 4, 5 блок живлення мас-спектрометра МХ7303 , 6 аналізатор мас-спектрометра МХ7303, 7 вакуумній камері, 8- шиберний вісоковакуумній затвор ДУ - 100, 9 азотних вакуумний уловлювач, 10- діфузійній паромаслянимі насос Н - 300.
Електромагнітній клапан К - 1 (5) відкрівається при пропусканні через обмотку електромагніта імпульсу електричного Струму около 30А. После Відкривання клапан утрімується в відкрітому стані Струмило біля 0,4А. При віміканні СТРУМУ, клапан закрівається під дією пружини.
За помощью мас-спектрометра МХ73303 (15) можна Проводити мас-спектрометрічній аналіз складу залішкової атмосфери установки та газів Які можна напустіті у вакуумній камері [13].
. 2 Порядок роботи на вакуумній установці УВЛ - 8 [11, 12]
Робота з вакуумною установкою УВЛ - 8 почінається з контролю вакууму у форбалоні (манометрічній перетворювач Д - 2) та у вакуумній камері (манометрічній перетворювач Д - 3 (рис.4.1). Ввімкнуті вакуумметр ВІТ - 3 и віміряті розрідження у форбалоні та вакуумній камері. При наявності у вакуумній камері розрідження КРАЩА за 2? 10 - 2 Тор, необходимость у створенні в ній попередня вакууму відпадає.
Ввімкнуті вимикач «Мережа» блоку живлення. Переконатісь в наявності всех трех фазових напруг (індікаторні лампочки всех трех фаз повінні загорітіся). Переконатісь что вісоковакуумній клапан знаходиться у Закритому стані (горить червона індікаторна лампочка). Ввімкнуті живлення форвакуумного насоса (при цьом чути характерний звук Працюючий насоса и світиться індікаторна зелена лампочка форвакуумного насоса) .Ввімкнуті живлення форвакуумного датчика Д - 1 через 5-10 хв. проконтролюваті вакуум на вході у форбалон (1-2? 10 - 2 Тор). Ввімкнуті живлення електромагнітного клапана К - 1 (обидвоє тумблери перевести в положення «Вкл.» И натіснуті кнопку «пуск клапана»). При відкріванні електромагнітного клапана чути характерний звук и загорається зелена індікаторна лампочка «ЕМК». Продовжіті відкачування діфузійного насоса через форвакуумним балон до вакуумі не гіршого за 3? 10 - 2 Тор. При досягненні цього вакууму Відкрити подачу води для охолодження корпусу діфузійного насоса. Ввімкнуті вимикач нагрівніка печі діфузійного насоса. При цьом начинает розігріватісь електропіч діфузійного насоса и загорається сигнальна зелена лампочка. «ДН». Через 30-40 хв после Включення живлення діфузійного насоса ВІН виходе на нормальний режим своєї роботи - створює високий вакуум у верхній своїй части (до вісоковакуумного клапана). Переконатісь что у вакуумній камері існує Попередній вакуумі не гірше чем 1? 10 - 1 Тор.
У випадка коли вакуум гіршій за 1? 10 - 1 Тор. провести відкачування вакуумної камери форвакуумним насосом через байпасну МАГІСТРАЛЬ (Закрити клапан К - 1 і Відкрити вентиль К - 2). Одержавши в вакуумній камері Попередній вакуум (кращий за 1? 10 - 1 Тор.) Закрити вентиль К - 4 Відкрити клапан К - 1 і продовжіті відкачування механічнім форвакуумним насосом діфузійного насоса через клапан К - 1 і форвакуумним балон. Для одержании високого вакууму в вакуумній камері Відкрити помощью штурвала вісоковакуумній клапан (Відкривання Здійснювати плавно до упору). При відкрітому вісоковакуумному клапані загорається лампочка зеленого кольору. Помощью вакуумметра ВИТ - 3 та перетворювач ПМІ - 2 (рис. 4.2) Здійсніті вимірювання високого вакууму.
Вімкнення вакуумної установки
Для вімкнення вакуумної установки УВЛ - 8 т...
