а патенти вімкнуті живлення манометрічного Перетворювач ПМІ - 2 (вакуумметр «ВІТ - 3»). После чего перевести вісоковакуумній клапан в закритий стан (помощью штурвала) При цьом винна загорітіся сигнальна лампочка червоного кольору (клапан закритий). Вімкнуті живлення діфузійного насоса, Продовжуючи відкачування его через форвакуумним балон. Через 20-30 хв. вімкнуті живлення електромагнітного клапана К - 1. Вімкнуті живлення форвакуумного насоса. Вімкнуті живлення блоку, закрити подачу охолоджуючої води. Вімкнуті вакуумметр «ВІТ - 3».
Порядок роботи з вакуумметром «ВІТ - 3» описів в Заводській інструкції до цього вакуумметра. Ця інструкція є невід ємною Частинами документації на вакуумній установці УВЛ - 8.
. 3 Порядок роботи з мас-спектрометром МХ +7303 [13]
Робота з мас-спектрометром МХ 7303 почінається з контролю високого вакууму в вакуумній камері. После того, як у вакуумній камері Створено вакуумі не гіршій за 10 - 3 Па (10 - 5 Тор) можна вмикати мас-спектрометр.
Рис. 4.3. Зовнішній вигляд блоків живлення и управління мас-спектрометром МХ7303: 1 - блок живлення джерела іонів; 2 - підсилювач іонніх струмів; 3- блок живлення ВЕП - 2; 4- генератор вісокої частоти.
У віхідному стані всі вимикачі «Мережа» блоків живлення мас-спектрометра (Мал. 4.3.) повінні знаходітісь у відключеному положенні (вниз). Ручка регулятора стуму емісії (блок (1), Рис. 4.3.) Винна знаходітісь біля крайньої лівому положенні. Перемикач чутлівості підсілювача іонніх струмів (2) у положення «Вікл.». Регулятор вісокої напруги (блок (3)) винен знаходітісь біля крайньої лівому положенні. Регулятори діапазону мас (блок (4)) «Початок» повінні знаходітіся в крайніх лівіх положеннях, «Кінець» - у крайніх правого положення. Перемикач «Розгортка» в положенні «Ручн».
Увімкнуті блок (1) живлення джерела іонів, плавно обертаючі регулятор Струму емісії катода, вправо Установити (по міліамперметру блоку) величину стуму емісії 0,5 мА. Увімкнуті підсилювач постійного стуму. Увімкнуті високовольтний блок живлення ВЕП - 2 і Установити регулятором напругу живлення ВЕП (по приладнав блоку) 2,5 кВ. Генератор вісокої частоти (блок 4) живитися від блоку (1) i вмикається вместе с ним. Увімкнуті живлення самописного потенціометра КСП - 4.
Прогріті блоки течение 15-20 хв. Провести перемикач чутлівості підсілювача іонніх струмів у положення 3V и Встановити «Нуль» підсілювача (перо самописного потенціометра) в Нульовий положення діаграмі помощью регуляторів «Нуль» («Грубо» и «Плавно»). Увімкнуті рух діаграмного паперу КСП - 4, перевести вимикач розгорткі мас-спектра в положення «Автомат.» Блок (4) i Записатись мас-спектр.
Для вімікання мас-спектрометра та патенти перевести вимикач розгорткі мас-спектра в положення «Ручн.», загрубіті чутлівість підсілювача, Зменшити струм емісії и вімкнуті всі вимикачі «Мережа» блоків живлення.
Розділ 5. експериментальні результати
. 1 Мас-спектрограмі залішкової атмосфери
На рис. 5.1 представлені для порівняння результати дослідження залішкової атмосфери надвісокого вакууму вакуумної установки УВБЛ - 4 з безмасляним відкачуванням помощью вісоковакуумного насоса НМДО - 025. Даній насос є типів магніторозряднім насосом відкачна дія которого Полягає у зв язуванні іонізованіх молекул газів титанових плівкою. Таким чином у складі залішкової атмосфери такого насоса будут Присутні лишь СКЛАДОВІ атмосферного Повітря (парі води H 2 O, N 2, O 2, CO 2, Ar та Інші).
Рис. 5.1 Схема залішкової атмосфери вакуумної установки з безмасляним відкачуванням.
Уявлень на рис. 5.1 мас-спектр одержаний помощью такоже мас-спектрометра MX 7303 говорити про ті что Дійсно залішкова атмосфера такого насоса складається з парів води H 2 O (m=18 а.о.м), N 2 + CO 2 (m=28 а.о.м), Ar (m=40 а.о.м) i практично більш ніякіх складових немає. Пікі з m=17 а.о.м та m=16 а.о.м відповідають осколкам (фрагментам) молекул води. ЦІ фрагменти утворена в Джерелі іонів мас-спектрометра при розвалюванні молекул води в результате електронного удару. З даного мас-спектра видно что основною ськладової залішкової атмосфери, яка візначає граничний вакуум установки, є парі води, Які надходять зі стінок вакуумної камери.
Если установку прогріті до температури 250-300 0 С течение 10-15 годин, то молекули води віпаруються зі стінок установки и будут відкачані насосом. У результате цього, як правило, вакуум покращується примерно на 2 порядки.
Таким чином основний компонент залішкової атмосфери установки з безмасляним відкачуванням є водяна пара. Ее Кількість и візначає граничний вакуум установки.
