чністю 0,5% для датчика температури з діапазоном 150 В° С. Були розроблені різноманітні датчики, які використовують еталони як з низькою, так і з високою добротністю. Організація серійного виробництва датчиків Фабрі - Перо швидко просувалася від поштучно зібраних лабораторних зразків до приладів, які могли працювати в широкому діапазоні температур. Інші удосконалення в конструкції датчиків дозволили почати випуск сімейства датчиків, вироблених з використанням технології інтегральних схем, з низькою вартістю і однакових. Розроблено датчики температури, які можуть бути розміщені на кінці волокна просто напиленням кремнієвого шару завтовшки 0,7 мкм. br/>
.5 Принципи роботи
Інтерферометри Фабрі-Перо складаються з двох відбивачів, розташованих з кожного боку оптично прозорого середовища. При відповідній відстані між відбивачами коефіцієнта пропускання інтерферометра високий. Зміна відстані призводить до падіння коефіцієнт пропускання. При високій відбивної здатності відбивачів коефіцієнт пропускання дуже чутливий до змін довжини хвилі або відстані між відбивачами. У цілому ефективність інтерферометра часто характеризують добротністю
F = 4R/(1-R2) (3.1)
де R - коефіцієнт відбиття дзеркал при відсутності втрат. Залежність коефіцієнта пропускання від відстані між відбивачами для різних значень добротності показана на малюнку 3.3. Інтерферометри з високою добротністю корисні, оскільки дозволяють точно визначити особливості спектра; інтерферометри з низькою добротністю допускають лінійний режим в широкому діапазоні вимірюваного параметра без складних схем із зворотним зв'язком. p align="justify"> Інтерферометри Фабрі - Перо привабливі для використання в датчиках, оскільки дозволяють легко встановити зв'язок з вимірюваними фізичними або хімічними величинами. У разі датчика температури це можна проілюструвати, вивчивши, скількома способами зміни температури можуть бути пов'язані з відстанню між відбивачами інтерферометра. У подальшому списку кожен пункт являє собою окремий оптичний параметр, через який можна пов'язати зміна температури з оптичним резонансом інтерферометра: (1) лінійне розширення распорного кільця, (2) зміна показника заломлення середовища між відбивачами, (3) розширення середовища між відбивачами; (4 ) зміна кривизни відбивачів; (5) зміна поглинання або відбивної здатності відбивача і (6) зміна спектрального поглинання або розсіювання в середовищі між відбивачами. На щастя, можна конструювати інтерферометри для вимірювання тільки одного або двох параметрів з перерахованих вище, виключивши реакцію на втручання інших. Це дозволяє, наприклад, розробляти датчики температури, що не чутливі до тиску. br/>В
Оптична товщина
Рисунок 5 - Коефіцієнт пропускання інтерферометра Фабрі-Перо при різних значеннях добротності
У датчи...
