.100)
В
Рис. 18 - 2D зображення калібрувальної решітки TGZ2 (2.08 Hz FB Gain 0.100)
В
Рис. 19 - Профіль калібрувальної решітки TGZ2 (2.08 Hz FB Gain 0.100)
При порівнянні досліджень, було виявлено, що режим роботи, при більш низькій швидкості сканування давав більш чіткі зображення решітки, так як зонд встигав охопити всі нерівності і шорсткості наноструктурних поверхні.
ВИСНОВОК
В ході курсової роботи були вивчені принципи скануючої зондової мікроскопії, отримані навички роботи на АСМ SOLVER HV.
Завданнями курсової роботи було: експериментальне визначення режимів роботи АСМ SOLVER HV для дослідження наноструктурованих поверхні, також виявлено режим роботи, що дає найкращий результат дослідження. p align="justify"> Список використаної літератури
1. Биков А.В. Фізичні методи дослідження.
. Д. Брандоне, У. Каплан. Мікроструктура матеріалів. Методи дослідження та контролю.
. Неволін В. Зондові нанотехнології в електроніці.
