оводять клеєм. p align="justify">. Пінцетом перенесіть предметний столик в камеру. p align="justify">. Вкрутити предметний столик у підставу тримача зразка. p align="justify"> Установка зразка завершена.
.3 Підготовка вимірювальної головки
.3.1 Установка зондового датчика
Для установки зондового датчика або його заміни виконайте такі операції:
. Візьміть сканирующую вимірювальну головку, переверніть її і поставте в перевернутому положенні на лабораторний стіл.
. Підніміть притискну пружину тримача зондового датчика. Для цього поверніть вниз поворотний важіль у відкритий стан за допомогою пінцета. Важіль має трапецієподібну форму і розташований збоку на корпусі держателя зонда. p align="justify">. Візьміть зондовий датчик з коробочки пінцетом з урахуванням того, що робоча грань чіпа з кантнлеверамн при установці буде звернена до Вас. Чи не перевертайте чіп, т. к. в коробочці зондові датчики лежать вістрями вгору. p align="justify">. Перенесіть зондовий датчик на поличку утримувача і помістіть його ліворуч від робочого місця. Робоче місце знаходиться в кутку полички під притиском тримача. p align="justify">. Пересуньте зондовий датчик на робоче місце пінцетом. p align="justify">. Після установки зондового датчика на робоче місце опустіть притискну пружину тримача для його фіксації. Для цього за допомогою пінцета поверніть важіль в фіксує положення. br/>
.3.2 Установка вимірювальної головки
Для установки вимірювальної головки у вакуумну камеру виконайте такі дії:
. Встановіть вимірювальну головку в посадочні гнізда на платформі-позиціонері. br/>В
Рисунок 10 - Установка і підключення вимірювальному голоски: 1 - підключення вимірювальної головки, 2 - підключення платформи-позіционера
4. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ДОСЛІДЖЕННЯ РЕЖИМІВ РОБОТИ АСМ SOLVERHV ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ наноструктурованого ПОВЕРХНІ
За допомогою АСМ SOLVERHV було проведено дослідження калібрувальної решітки TGZ2. Нижче представлені зображення, отримані при скануванні зразка в різних видах в контактному режимі. br/>В
Рис. 11
В
Рис. 12 - Профіль калібрувальної решітки TGZ2
В
Рис. 13 - 3D ізображеніеTGZ2
В
Рис. 14 - 2D ізображеніеTGZ2
В
Рис. 15 - Профіль калібрувальної решітки TGZ2
Далі отримані зображення тієї ж калібрувальної решітки TGZ2 в контактному режимі при більш високій швидкості 2.08 Hz FB Gain 0.100.
В
Рис. 16 - Профіль калібрувальної решітки TGZ2 (2.08 Hz FB Gain 0.100)
В
Рис. 17 - 3D зображення калібрувальної решітки TGZ2 (2.08 Hz FB Gain 0...
