Зміст
Введення
. Огляд літератури
.1 Отримання металевих плівок і покриттів методами CVD і PVD
.2 Вплив умов осадження на структуру, електричні і магнітні властивості плівок Co
.3 Вплив умов осадження на структуру та магнітні властивості плівок системи Co-Pt
.4 Постановка завдань
. Об'єкт і методи дослідження
.1 Матеріали дослідження
.2 Методика експерименту
. Результати проведеного дослідження
.1 Рентгеноструктурні дослідження плівок кобальту
.2 Вплив умов осадження на морфологію поверхні плівок кобальту
.3 Вплив умов осадження на товщину плівок кобальту
.4 Магнітні та електричні властивості плівок Co
.5 Обговорення результатів
. Фінансовий менеджмент, ресурсоефективність та ресурсозбереження
.1 Класифікація НДР
.2 Роздільна НДР на етапи
.3 Визначення трудомісткості етапів НДР
.4 Складання кошторису витрат
.4.1 Витрати на амортизацію обладнання
.4.2 Витрати на основні та допоміжні матеріали
.4.3 Витрати на заробітну плату
.4.4 Страхові відрахування
.4.5 Витрати на електроенергію
.4.6 Кошторис витрат на НДР
Висновок
Список публікацій студента
Список використаних джерел
Введення
В даний час дослідження тонких феромагнітних плівок є перспективним зважаючи на можливість створення композиційних постійних магнітів для мікромеханіки і високочутливих магнітних датчиків, здатних виявляти слабкі магнітні поля рухомих об'єктів. Величезний інтерес для досліджень представляють плівки системи Co - Pt завдяки наявності в них перпендикулярної анізотропії, т. Е. Можливості виникнення в них осі легкого намагнічування, спрямованої перпендикулярно до площини плівки. Дана властивість широко використовується для створення пристроїв з ультрависокої щільністю запису даних [1].
Існує безліч способів одержання металевих тонких плівок. Але серед них найбільш перспективним є метод хімічного осадження з газової фази (CVD), оскільки дозволяє отримувати плівки високої чистоти, з високою однорідністю товщини і складу, мінімальними пошкодженнями підкладки, високими швидкостями осадження та можливістю нанесення на вироби складної форми [2]. Процес отримання плівок із заданими властивостями даним методом вельми складний. Існує безліч параметрів CVD-осадження, що роблять вплив на властивості одержуваних плівок: хімічний склад і температура випарника, температура підкладки, тиск у камері, час осадження та інші. При цьому для кожного матеріалу плівок існують свої оптимальні умови осадження, при яких плівки характеризуються найкращим поєднанням властивостей. Виходячи з цього, для полегшення дослідження плівок системи Co-Pt і знаходження оптимальних параметрів їх отримання, доцільно спочатку визначити оптимальне поєднання параметрів CVD-осадження для плівок Co і Pt окремо.
Вплив умов CVD-осадження на властивості плівок Co вже вивчалося [3]. Проте практично відсутні дослідження для плівок Co, отриманих з дііміната кобальту Co (N acN ac) 2, вживаного як попередника. Попередник (металлоорганическое з'єднання, з якого отримують плівки) істотно змінює характер впливу параметрів CVD-осадження на властивості плівок [4]. Враховуючи даний факт, а також те, що діімінати металів володіють рядом переваг: відсутністю кисню, високими летючість, стабільністю, чистотою розкладання і практичним виходом [5], необхідно досліджувати вплив параметрів осадження на структуру та експлуатаційні характеристики плівок Co, отриманих методом CVD з Co (N acN ac) 2.
Таким чином, метою даної роботи є дослідження можливості отримання плівок Co методом CVD з Co (N acN ac) 2 із заданими магнітними і електричними властивостями.
хімічний осадження плівка кобальт
1 Огляд літератури
. 1 Отримання металевих плівок і покриттів методами CVD і PVD
В даний час існує два основні методи отримання плівок і покриттів шляхом осадження з газової фази: фізичний (PVD) і хімічний (CVD). Дані методи засновані на різних явищах.
При фізичному осадженні (PVD) матеріал покриття або плівки переходить з твердої фази в газову. Даний процес можна розділити на дві великі групи: випаровування і розпорошення. У першому випадку перехід матеріалу в газову фазу відбувається під впливом теплової енергії, що виділяється за рахунок резистивного опору (Малюнок 1), індукційного нагріву, електронно-променевих пучків (Малюнок 2), електричної дуги або лазерного променя.
Малюнок 1 - Схема установки для термічного випаровування
Рису...
