Федеральне агентство з освіти
Державне освітній заклад
Вищого професійного навчання
Нижегородський державний технічний університет ім. Р.Є. Алексєєва
Кафедра Фізика і технологія матеріалів і компонентів електронної техніки
Звіт по ознайомчої практиці
КЕРІВНИК
Воротинцев І. В.
Студент
Тюріна А.А.
О7-МТЕ-1
Зміст
1 Історія підприємства. 3
2. Структура підприємства. 7
3. Теоретична частина. 9
3.1 Введення. 9
3.2 Отримання тонких плівок. 10
3.3 Формування діелектричних шарів. 10
3.3.1 Осадження тонких плівок у вакуумі. 11
3.3.2 Іонну (катодне), іонно-плазмове, магнетронне і іонно-термічне розпилення. 11
3.4 Методи визначення товщини плівок. 15
3.4.1 Метод кварцового вібратора. 15
3.4.2 Резистивний і ємнісний методи .. 16
3.4.3 Метод еліпсометрії. 16
3.4.4 Іонізація молекулярного потоку. 16
4. Практична частина. 18
4.1 Технологічні процеси напилення тонких плівок. 18
4.2 Матеріали, використовувані для напилення резистивних плівок. 18
4.3 Технічні вимоги до технологічних процесів напилення. 19
4.4 Технічні дані. 21
4.5 Принцип роботи установки УВН-75П-1. 23
4.6 Схема установки УВН-75П-1. 24
4.7 Напилювання шарів хрому, міді на лицьову і зворотну боку підкладки 25
4.8 Вимірювання питомого поверхневого опору суцільних резистивних шарів 27
Висновки .. 29
Список літератури .. 30
1 Історія підприємства
У 1946 році заводу № 197 доручається модернізація РЛС П-3, для чого створюється спеціальна лабораторія під керівництвом Є. В. Бухвалова.
Офіційною датою заснування підприємства вважається 30 Вересень 1947, створюється Спеціальне конструкторське бюро Державного Союзного ордена Леніна заводу № 197 (пізніше - Горьковського телевізійного заводу ім. В. І. Леніна, нині - ВАТ "нитель"). C 1966 перетвориться в самостійне підприємство - КБ ГТЗ ім. В. І. Леніна. У 1981 році перейменований в Горьковський НДІ радіотехніки (ГНІІРТ), в 1990 після перейменування міста Горького підприємство придбало сучасну назву. З 1999 року підприємству присвоєно статус Федерального науково-виробничого центру (ФНПЦ).
З 1947 по 1952 р. колектив розробив 10 типів і модифікацій радіостанцій, одна з них відзначена Державною премією. З 50-х рр.. підприємство спеціалізується на розробці радіолокаційних засобів. Після завершення в 1948 р. розробки РЛС П-3А на підприємстві створюються перша вітчизняна РЛС П-8 (1950 р.) з індикатором кругового огляду і найпростішої апаратурою захисту від пасивних перешкод (СДЦ), РЛС П-10 (1951 р.) з перебудовою частоти, РЛС П-12 (1955 р.) з когерентно-компенсаційної апаратурою СДЦ, РЛС П-12М (1956 р.), перша високопотенційний РЛС П-14, РЛС П-12МП (1959 р.), П-12МА (1960 р.), автоматизований радіолокаційно-зв'язковий комплекс П-95 (1963 р.), РЛС П-12НП (1965 р.), П-14Ф (1966 р.), одна з перших у світі РЛС П-70 метрового діапазону хвиль з ЛЧМ зондирующим сигналом, АРЛСК П-96 (1968 р.), РЛС П-18 (1970 р.), РЛС 5Н84А (1974 р.) з кореляційним автокомпенсатора, перша вітчизняна трикоординатна РЛС 5Н69 (1975 р.) дециметрового діапазону хвиль з частотним хитанням променя, РЛС 44Ж6 (1979 р.), перша в світі рухлива трикоординатна РЛС 55Ж6 метрового діапазону хвиль, РЛС 1Л13 (1982 р.).
3а 60 років підприємством створено понад 35 типів і модифікацій РЛС. Вони випущені загальним обсягом близько 17 тис. одиниць і складають основу радіолокаційного поля ППО. Близько трьох тисяч РЛС, розроблених підприємством, поставлено в більш ніж 50 країн. З 1995 р. ННІІРТ в кооперації з підприємствами країни здійснює серійне виготовлення своїх розробок.
ННІІРТ - єдине в світі підприємство, де розроблені і розвиваються унікальні технології створення і виробництва локаторів метрового діапазону хвиль, здатних досить ефективно виявляти об'єкти, виготовлені із застосуванням
СТЕЛС-технологій. П'ять типів РЛС удостоєні Ленінської та Державних премій. У їх числі Державна премія РФ 2002 в галузі науки і техніки за створення, впровадження у виробництво та експлуатацію трьохкоординатної РЛС метрового діапазону хвиль 55Ж6-У з цифровою фазованими антеною гратами (ФАР).
Одна з останніх розробок інституту в метровому діапазоні хвиль - перша високомобільна РЛС 1Л119 виявлення аеродинамічних і балістичних цілей метрового діапазону хвиль з активною ФАР прийнята на озброєння в 2003 р.
Продукція ННІІРТ, як правило, не має вітчизняних і зарубіжних аналогів або значно перевершує їх за основними характеристиками. Такі мобільна трикоординатна РЛС 59Н6 (1997 р.) дециметрового діапазону хвиль, бортова РЛС Е-801 (1995 р.) на вертольоті Ка-31 для виявлення повітряних і...
