Міністерство освіти і науки Російської Федерації
Державна освітня установа вищої професійної освіти
В«НАЦІОНАЛЬНИЙ ДОСЛІДНИЙ
ТОМСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ В»
Фізико-технічний інститут
Напрямок (спеціальність) - фізика
Кафедра водневої енергетики і плазмових технологій
Випускна кваліфікаційна робота
Дослідження продуктивності роботи магнетронній розпилювальної системи з жідкометалліческім мішенню
Томськ - 2011
Реферат
Випускна кваліфікаційна робота містить 39 малюнків, 6 таблиць, 27 джерел, 1 додаток, 15л. графич. матеріалу.
Ключові слова: тонкі плівки, магнетрон розпилювальна система з жідкометалліческім мішенню, додаткова магнітна система, коефіцієнт ерозії поверхні.
Об'єктом дослідження є плівки свинцю, отримані за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню.
Мета роботи - отримати дані про залежності продуктивності роботи магнетронній розпилювальної системи з жідкометалліческім мішенню від її потужності.
У процесі роботи проводилися: Нанесення свинцевих плівок за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню. Вимірювання товщини плівок. Вимірювання швидкості напилення. Обчислення коефіцієнта ерозії поверхні мішені. p align="justify"> В результаті дослідження з'ясувалося:
. Магнетрон розпилювальна система з жідкометалліческім мішенню включає в себе переваги двох процесів: магнетронне розпорошення і термічне випаровування у вакуумі. p align="justify">. При збільшенні щільності потужності домінує испарительная компонента. p align="justify">. Спостерігається збільшення швидкості росту тонких плівок із збільшенням щільності потужності. p align="justify">. Збільшується коефіцієнт ерозії поверхні мішені на 2 порядку за рахунок випарної компоненти. p align="justify">. Виявлена ​​залежність швидкості осадження тонкоплівкових покриттів від матеріалу тигля. br/>
Введення
Обложені тонкі плівки були, мабуть, вперше отримані в 1857 р. Фарадеєм при проведенні ним дослідів по вибуху металевих зволікань в інертному атмосфері. Подальші експерименти з осадження плівок були стимульовані в XIX-му столітті інтересом до оптичних явищ, пов'язаних з тонкими шарами речовини, та дослідженнями кінетики і дифузії газів. У 1887 р. Нарволд на прикладі дротів з платини продемонстрував можливість осадження тонких металевих плівок у вакуумі з використанням джоулева тепла. Роком пізніше Купдт застосував цей же метод для вимірювання показника заломлення плівок металів. p align=...
