"justify"> У наступні десятиліття тонкі плівки використовувалися тільки для чисто фізичних досліджень. Тільки з удосконаленням вакуумного обладнання, яке дозволило організувати масове виробництво і контроль властивостей тонких обложених плівок, останні знайшли промислове застосування. За останню чверть століття області застосування тонких плівок значно розширилися. Як приклад можна навести просвітлюючі покриття, дзеркала, інтерференційні фільтри, сонячні окуляри, декоративні покриття на пелюстках і тканинах, використання тонких плівок в електронно-променевих трубках і зовсім недавно - у виробництві мікроелектронних схем. [1]
Технології нанесення тонких плівок стають все більш важливими для отримання матеріалів з різними фізико-механічними і Трибологічні властивостями. Тонко-плівкові покриття знаходять широке застосування в машинобудуванні, медицині і мікроелектроніці. Як показують літературні дані, проблема впливу складу мішені на переважне розпорошення компонентів мішені в даний час залишається відкритою. Умови та процеси масопереносу розпорошеного матеріалу мішені до поверхні конденсації, визначають склад і структуру одержуваних покриттів. [2]
Часто вакуумне осадження тонких плівок розглядають як один процес, проте правильніше його представляти як кілька різних процесів, а саме:
) перехід речовини з конденсованої фази, яка може
бути твердою або рідкою, в газоподібну;
) перенесення парів речовини в просторі від випарника до
підкладки при зниженому тиску газу;
) конденсація парів речовини при досягненні підкладки [1].
В останні роки, завдяки інтенсивним експериментальним і теоретичним дослідженням, є різні методики отримання зразків, що дають результатом плівки з відтворюваними і стабільними характеристиками [3].
Метою роботи є отримання даних про залежності продуктивності роботи магнетронній розпилювальної системи з жідкометалліческім мішенню від режимів її потужності.
Для досягнення цієї мети потрібно вирішити наступні завдання:
проаналізувати магнітне поле магнетронній;
розпилювальної системи з жідкометалліческім мішенню;
отримати тонкоплівкові покриття;
виміряти товщину отриманих плівок;
отримати дані про швидкості росту товщини плівок;
дослідити механізми ерозії поверхні;
визначити коефіцієнти ерозії.
1. Отримання тонкоплівкових покриттів у вакуумі
.1 Термічне випаровування
Процес нанесення тонких плівок у вакуумі полягає у створенні (генерації) потоку частинок, спрямованого в бік оброблюваної підкладки, і подальшої їх ко...
