Зміст
Введення
1. Кристаллохимических опис стекол
. Отримання планарних хвилеводів методами дифузії
.1 Твердотільна дифузія
.2 Іонний обмін
2.3 Параметри діффузант використовуваних при виготовленні хвилеводів
. Імплантація іонів
.1 Зменшення концентрації носіїв
.2 Електрооптичний ефект
Висновок
Список використаних джерел
Введення
Технологія нанесення тонких плівок досить широко застосовується при виготовленні хвилеводів зі скла, окислів металів, полімерів і т. д., проте її принципово не можна використовувати для виготовлення оптичних хвилеводів з кристалічних матеріалів, наприклад, напівпровідників або сегнетоелектриків, подібних LiNbO 3 і LiTaO 3 . Зазвичай це пов'язано з тим, що в результаті розпилення матеріалу і наступного його осадження на підкладку, як правило, змінюється стехіометрія (склад) матеріалу, який випаровується і його структура. Обложені плівки мають полікристалічну структуру. Щоб уникнути подібних труднощів, було розроблено декілька підходів для отримання хвилеводів на основі кристалічних матеріалів без серйозного пошкодження кристалічної решітки. Ряд методів використовує впровадження атомів домішок, які заміщають деякі атоми в решітці речовини, що призводить до збільшення показника заломлення цієї речовини, тобто до створення волноводного шару.
До методів, що дозволяє сформувати хвильове плівки безпосередньо в підкладці, відносяться дифузійні методи, імплантація іонів, зменшення концентрації носіїв і електрооптичний ефект. Дифузійні методи широко використовуються при створенні планарних і канальних хвилеводів в стеклах [1-4]. p align="justify"> Метою роботи є створення огляду по методам виготовлення планарних інтегрально-оптичних хвилеводів у підкладках.
1. Кристаллохимических опис стекол
Фізичні властивості стекол залежать від їх будови і складу. Для виготовлення пасивних елементів ІОС в якості підкладок, як правило, використовуються стекла. Це обумовлено, зокрема, відносною простотою виготовлення оптичних елементів та їх простотою. p align="justify"> В основі кристаллохимического опису стекол лежать поняття ближнього і далекого порядків в структурі речовин.
Близький порядок в загальному випадку означає правильне розташування окремих атомів щодо деякого фіксованого атома.
Для оксидних стекол ближній порядок характеризує розташування атомів кисню щодо катіонів. Наприклад, а...
