іалів нечутливих до УФ-випромінювання
Найменування матеріалаПрімененіеDurimide 32AДля нанесення захисних покритійDurimide 100 их серій і LTP10-18AФормірованія малюнка рідинним травленіемDurimide 20, 200 і LTP10-18AНізкотемпературние процеси
Фоточутлива лінія продуктів містить негативні «поліїмидні прекурсори» Durimide 7000, 7300, що 7500 і позитивні водні розчини AP2210B і AN3310. Durimide 7000 має високою температурою склування, Durimide 7500 характеризується чудовими механічними властивостями і досить низькою температурою склування. Durimide 7300 добре себе показує при використанні для покриття срібною і мідної металлізаціі.AP2210B і AN3310 використовується коли необхідно сформувати малюнок з використанням позитивного резиста.
Таблиця 1.2 - Основні застосування фоточутливих матеріалів
Найменування матеріалаПрімененіеDurimide 7000Превосходние температурні свойстваDurimide 7500, AP2210B і AN3310Подходящіе для всіх прімененійDurimide 7300Медная або срібна металлізаціяDurimide 7000, 7 300 і 7500Толстие плівки ( gt; 10 нм) з гарними характеристиками
Хімічна будова і характеристики нечутливих до УФ-ізлученіюполіімідних матеріалів
На малюнку 1.3.1 представлена ??хімічна структура нечутливих до УФ-ізлученіюполіімідних матеріалів, на прикладі Durimide 100 их серій.
Хімічна структура Durimide 100 их серій
Durimide 100 их серій має різну в'язкість залежно від товщини створюваного покриття. Нижче в таблицях наведено стандартні значення параметрів, які можуть бути іншими для специфічних цілей.
Таблиця 1.3.1 - В'язкість і вміст металів у Durimide 100 их серіях
ПараметрЕдініца ізмереніяНіжняя граніцаВерхняя граніцаКінематіческая в'язкість (25? С) Durimide 112АСантістокс17002100Durimide 115АСантістокс62008300Содержаніе води% 00,5Натрій% 03 * 10 ^ - 5Калій% 02 * 10 ^ - 5Железо% 01 * 10 ^ - 5медь% 01 * 10 ^ - 5
Таблиця 1.3.2 - Товщини шарів Durimide 100 их серій
Параметр112А115АТолщіна модифікованого покритія1,5-2,5 мкм3-6 мкмФільтрація0,5 мкм1 мкмСодержаніе твердих веществ11-12,5% 14-15,5%
Таблиця 1.3.3 - Властивості модифікованої плівки Durimide 100 их серій
СвойствоЕдініца ізмереніяЗначеніеПредел міцності на разривМПа260Модуль ЮнгаГПа3,3Относітельное подовження при розтягуванні% 80Температура склування? С371Температура термічного розпаду? С597Коеффіціент термічного расшіренія10 ^ (- 6) /? С32Напряженіе в шарі (для кремнію орієнтації 100) МПа20Діелектріческая постійна, 1МГц, 0-50% 3,1-3,4Коеффіціент розсіювання (загасання), 1МГц, 0-50% 0,003-0,009Діелектріческая міцність, н.у. 0-50% В/мкм342Влагопоглощеніе при 50 %% 1,7Плотностьг/см? 1,49Коеффіціент (показник) преломленія1,81
У таблиці 1.3.4 представлені два методи:
. Кипляча вода: метод D - 3359-83, 72 години
. Тиск при 2 атм. і 120? С
Таблиця - 1.3.4 Адгезійні тести Durimide 100 их серій
Кипляча водаТест під давленіемКремній55200 часовSi? N? 55600 годин
«Прекурсор полиимида» Durimide 100 можна виділити серед інших через наступних характеристик:
· Немає необхідності в обробці поверхні в адгезиві перед нанесенням;
· Можливість формування плівок в діапазоні товщини 2-10 мкм;
· Чудова адгезія;
· Високотемпературна стабільність;
· Відмінне опір до розтріскування;
· Низький вміст металів;
· Можлива реставрація (до фінального відпалу)
Вимоги до умов для нанесення і термообробки полиимида
Для максимізації терміну зберігання Durimide 100 повинен зберігається при - 5? С? +5? С. Перед відкриттям пляшок з матеріалом їх температура повинна бути вирівняна з кімнатною. Відкриття пляшок до повного вирівнювання температури призведе до впровадження вологи в матеріал, це призведе до великого розкиду характеристик по площі покриття.
Таблиця 1.3.5 - Час, необхідний для встановлення рівноваги температур
Розмір бутилкіВремя видержкі250 гр4 часа1 кг12 часов4 кг24 години
Зберігання
Три різні варіанти зберігання існують для різних «лінійок» полиимидов.
. Durimide 32A і 200 серій стійкі при кімнатній температурі і, тому, не потребують спеціальних умов зберігання.
. Durimide 100 серії і LTP1018A потребують зберігання морозильнику з Теплостіна?? ких ма...
