n="justify"> На рис. 5.2. уявлень мас-спектр залішкової атмосфери досліджуваної установки УВЛ - 8, високий вакуум в Якій створюється помощью діфузійного паромасляного насоса Н - 300. З мас-спектограмі видно что крім водяної парі (m=18 а.о.м.) у залішковій атмосфері присутности велика Кількість парів з m gt; 40 а.о.м. При чому если на рис. 5.1 пік парів води БУВ найбільшім, то в мас-спектрі на рис 5.2 Є І пікі з більшою інтенсівністю (група сорокових мас, п ятдесятіх мас).
Таким чином, граничний вакуум, Створений діфузійнім паромаслянимі насосом, візначається НЕ кількістю парів води, а зовсім іншімі ськладової. Кількість ціх складових й достатньо велика (мас-спектрометрічні пікі мают масі до кінця діапазону мас-спектрометра (М=200а.о.м.)). На рис. 5.2 уявлень фрагмент мас-спекрограмі до m=130 а.о.м., ЦІ мас-спектометрічні пікі утворені фрагментами РОБОЧОЇ Рідини діфузійного паромасляного насоса (мінеральні масло), Пожалуйста є продуктом переробки нефти. Таким чином граничний вакуум Створений діфузійнім паромаслянимі насосом візначається лещата парів РОБОЧОЇ Рідини Які пронікають з діфузійного насоса у відкачуваній про єм РОБОЧОЇ камери.
Для покращення граничного вакууму діфузійніх паромаслянимі насосів та патенти Зменшити Надходження парів РОБОЧОЇ Рідини з насосу. (Если покращання граничного вакууму установки з безмасляним відкачуванням (рис. 5.1) можна Було провести нагріванням стінок вакуумної камери, то у випадка вакууму створеня діфузійнім насосом такий прийом мало Ефективний. Зменшення кількості водяної парі мало что змініть у складі залішкової атмосфери представленої на (рис. 5.2)).
Рис 5.2 Мас-спектр залішкової атмосфери досліджуваної установки без азотного уловлювача масляних парів.
Для покращення граничного вакууму діфузійніх паромаслянимі насосів Використовують різного типу уловлювачі парів масел Які розташовують между діфузійнім насосом и відкачуванім про єктом. Найбільш ефективна уловлювачем є «азотних уловлювач». Цей уловлювач представляет собою металеву поверхню (кріопанель) охолодженя до температури рідкого азоту t=- 197 0 С.
Конструктивно такий уловлювач представляет собою металеву (мідь, нержавіюча сталь) ємність у якові залівається рідкий азот. Така ємність розташовується над горловиною діфузійного насоса. Парі РОБОЧОЇ Рідини насоса потрапляючі на охолодженя поверхні конденсуються на ній и утрімуються у виде зконденсованої Рідини доки ця Поверхня зберігає низьких температуру.
Рис. 5.3 Мас-спектр залішкової атмосфери досліджуваної установки з азотним уловлювачем масляних парів.
На рис 5.3 уявлень мас-спектр залішкової атмосфери установки УВЛ - 8 з використанн азотного уловлювача масляних парів. Необходимо звернути Рамус на ті что чутлівість мас-спектрометра при цьом булу збільшена в 10 разів. З мас-спектограмі видно что інтенсівності практично всех піків (за вінятком ПіКу з m=28 а.о.м. - N 2) зменшіть в 10-20 разів. Що призвело до покращення вакууму від 5 · 10 - 6 Тор до 6 · 10 - 7 Тор (практично на порядок). Основним газом, Який візначає граничний вакуум тепер є азот - N 2 Який НЕ конденсується на поверхні кріопанелі. Проти у складі залішкової атмосфери, даже при наявності азотного уловлювача, всерівно Присутні всі тіж СКЛАДОВІ масляних парів, что ї у попередня випадка.
Висновки
При віконанні даної роботи я ознайомівся з літературою з вакуумної техніки, розібрався в конструкції діфузійного паромасляного насоса та мас-спектрометра для газового АНАЛІЗУ. Була Вівче и поліпшена вакуумна установка УВЛ - 8, принцип роботи и будова якої детально опісані в діпломній работе.
У результате апробації ее працездатності були Одержані результати по створеня в ній вакууму и були проведено мас-спектрометрічні дослідження складу залішкової атмосфери помощью мас-спектрометра МХ7303. Дана вакуумна установка має граничний вакуумі не гіршій за 1? 10 - 5 Тор (без азотного уловлювача), та 2 · 10 - 7 Тор (з азотним уловлювачем).
Мас-спектрометрічні дослідження складу залішкової атмосфери показали, что граничний вакуум установки без использование азотного уловлювача візначається лещата парів масел РОБОЧОЇ Рідини діфузійного насоса, парів води та СО + N 2.
При вікорістанні азотного уловлювача граничний вакуум візначається парціальнім лещата СО + N 2 (m=28 а.о.м.). Азот погано конденсується при такій температурі кріопанелі, наявністю вновь ж таки парів РОБОЧОЇ Рідини діфузійного насоса, Які НЕ вдається Повністю сконденсуваті на поверхні кріопанелі.
Таки чином, мета роботи: ознайомітіся з фізічнімі принципами роботи діфузійного паромасляного насосу, отріматі з его помощью високий вакуум та дослідіті склад залішкової а...
