>
1. Фотошаблон-оригінал має пряме і позитивне зображення елементів топології;
. Для фотошаблона-оригіналу і робочого фотошаблона, і рівну В± 1 кут. сек., а робітники фотошаблони з необхідної кутовий похибкою слід отримувати методом відбору з декількох фотошаблонів;
. Допуск для фотошаблона-оригіналу складе В± 0,6 мкм;
. Для фотошаблона-оригіналу дефекти елементів топології не допускаються;
. Для виготовлення фотошаблонів-оригіналів використовуються пластини прецизійні хромовані ППХ127х127А;
. Способи виготовлення лімбів, а також інших оптичних шкал, регламентуються галузевим стандартом ОСТ3-3312-76. Спосіб виготовлення лімба - спосіб зворотного фотолітографії Ф9І;
. Маркірувати фотошаблон і вказати дату його виготовлення;
. Пропущення хромового покриття ?? 1% для довжин хвиль від 0,4 до 0,7 мкм;
. Нерівність краю вказується у відповідності зі значенням генератора зображень CLWS -300 з таблиці 2 і становить 0,1 мкм.
9. Додаткова інформація
У кресленнях лімбів, як правило, мається вимога паспортизації найбільш важливих параметрів. Одним з таких параметрів зазвичай є кутова похибка розташування штрихів. Паспортизація полягає у фіксуванні конкретного значення параметра в супровідному документі (паспорті). Також в паспорті вказується номер лімба і дата виготовлення. У технічних завданнях на виготовлення фотошаблонів вимога паспортизації не вказується, так як фотошаблони перевіряються за всіма вимогами креслення в центральній вимірювальної лабораторії, за результатами вимірювань заповнюється паспорт фотошаблона. p align="justify"> Частина технічних вимог креслень лімбів закінчуються фразою: забезпечується інструментом. Інструментом для лімба є робочий фотошаблон, а інструментом для робочого фотошаблона є фото шаблон-оригінал. Сенс фрази В«забезпечується інструментомВ» полягає в тому, що вказаний параметр можна не перевіряти у лімбів, а перевіряти в процесі атестації фотошаблонів. p align="center"> Висновок
У даній роботі проведений вибір технологічного процесу (метод зворотної фотолітографії) для виготовлення кругової шкали лімба 2Т2-1-79 та приведені аргументи на користь оптимальності даного методу. Відповідно до технічних вимог складено технічне завдання на проектування фотошаблона. Креслення з ескізом деталі та технологічними в...
