і розпилюють активний метал, який осідає на аноді. Один іон вибиває в середньому один атом активного матеріалу, що й забезпечує саморегульовану швидкість розпилення при роботі насоса. Активні гази хімічно взаємодіють з розпорошуються атомами матеріалу катода і осідають на анод у вигляді хімічних сполук. Інертні гази відкачуються за рахунок іонної відкачування: позитивні іони впровадженням в матеріал катода, негативні іони і високоенергетичні нейтральні частинки - на аноді. Основна кількість інертних газів відкачується на аноді, так як з катода спостерігається рееміссія поглинених газів в процесі їх распиленія.В магнітноразрядних насосах застосовуються дідние (рис. 9) і тріодний (рис. 10) схеми. Розпилення активного матеріалу в цих насосах ведеться з великих поверхонь при малих кутах падіння іонів. У тріодном насосі розпорошення ведеться додатково на колектор (корпус насоса), який не бомбардируется позитивними іонами. p align="justify"> магніторозрядними насоси мають помітною вибірковістю в процесі відкачування. Швидкість дії цих насосів при відкачці водню в 3 рази вище, а кисню в 2 рази нижче, ніж азоту. p align="justify"> Швидкість дії при відкачці інертних газів в діодних насосах становить для гелію 10%, аргону, криптону і ксенону 1-2% від швидкості дії при відкачці азоту. У конструкціях насосів триодного типу і в насосах з ребристими катодами швидкість дії при відкачці аргону підвищується відповідно до 25 і 10% від швидкості дії при відкачці азоту. При тривалій відкачці аргону в насосі може виникнути аргонная нестабільність, супроводжується періодичними коливаннями тиску. p align="justify"> Магнітна система насосів з міркувань економічності і надійності виконується на постійних магнітах. Граничний тиск магніторазрядних насосів 10 -8 -10 -10 Па.
Технологія MEMS
Багато з існуючих інновацій не використовують в повній мірі свій потенціал аж до появи на ринку принципово нових розробок. Так, однією з ключових технологій аж до 2012 р. аналітична компанія Gartner називає технологію мікроелектромеханічних систем - MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems). Згідно з останніми прогнозами In-Stat/MDR, ринок MEMS зростає на 13,2% щороку. До речі, цю галузь ІТ-індустрії в Японії на зують мікромашину (Micromachines), а в Європі - мікросистемні технології (Micro System Technology). На думку аналітиків з Gartner, мікроелектромеханічні системи дозволять з мінімальними витратами підвищити чутливість і механічну віддачу пристроїв на рівні кристалів. p align="justify"> Можна сказати, що MEMS - це безліч мікропристроїв найрізноманітнішої конструкції та призначення, у виробництві яких використовуються модифіковані технологічні прийоми мікроелектроніки. Дійсно, мікроелектромеханічні системи виходять шляхом комбінування механічних елементів, датчиків і електроніки на загаль...
