розпорошення катода при такому розряді відбувається в невеликій області типу кратера. В області більш високих тисків (р> 10-3 Тор) розряд переходить в дугового і заповнює всю вакуумну систему, причому метал розпорошується з великою поверхні катода. p align="justify"> Для тисків в області 10-4 <р <10-3 Тор потужність, що виділяється в насосі, зростає і електроди сильно нагріваються, в результаті чого інтенсивно виділяються гази, адсорбовані на електродах. br/>
Насоси, засновані на принципі іонно-сорбційної відкачування
Іонно-сорбційна відкачування використовує два способи поглинання газу: впровадження іонів в обсяг твердого тіла під дією електричного поля і хімічну взаємодію відкачуваних газів з тонкими плівками активних металів. Конструкція іонно-сорбційного насоса визначається типом випарника, конфігурацією електродів і способом подачі напруги. Випарники бувають прямонакальние, подогревним, електронно-променеві і дугові. p align="justify"> У насосах випарного типу, що не мають пристроїв для іонної відкачування, граничний тиск становить зазвичай 10 -7 Па. Охолодження активної плівки до температури рідкого азоту знижує граничний тиск до 10 -11 Па.
Верхня межа робочих тисків, рівний 10 -2 Па, лімітується освітою під час роботи випарника оксидів, нітриду і карбідів на поверхні активного матеріалу, що призводить до зменшення швидкості випаровування. Максимальна швидкість дії випускаються промисловістю насосів такого типу, досягає 105 л/с при відкачці водню. Застосування випарних насосів неефективно при відкачці продуктів органічного походження і інертних газів.
В
Великого поширення набули іонно-сорбційні насоси, які використовують одночасно поглинання газів хемосорбцією і іонної відкачкою. Ці насоси можна розділити на дві групи: насоси з незалежним і саморегульованим розпиленням активного матеріалу. Недоліком насосів з незалежним розпиленням є те, що швидкості розпилення активного металу і продуктивність відкачки в таких насосах незалежні один від одного. Це часто призводить до непродуктивної витраті активного металу. p align="justify"> Саморегулювання швидкості розпилення забезпечується в магніторозрядними насосі. Відкачувані гази іонізуються електронами, що з'являються за рахунок автоелектронної емісії з катода, і вторинними електронами, що виникають при бомбардуванні катода іонами відкачуваного газу. Напруженість магнітного поля підбирається таким чином, щоб радіус траєкторії електронів був менше радіуса анода. При цьому загальна довжина траєкторії електрона до його потрапляння на анод сильно збільшується, що веде до зростання ймовірності іонізації залишкових газів. Позитивні іони, слабо відхиляються магнітним полем, бомбардують катод...
