ас в промисловості випускається ряд високочастотних установок типу В«Кристал-400В». Вони побудовані за блоковим принципом з використанням уніфікованих вузлів. Для вирощування монокристалів ЧСЦ в даному проекті використовується установка В«Кристал-403В». Установка має наступні технічні показники:
Внутрішній діаметр контейнера, мм 400
Довжина контейнера, мм 600
Довжина робочого ходу контейнера, мм, не менше 150
Частота робоча, МГц 1.76
Потужність, споживана від мережі, кВт, не більше 250
Потужність коливальна, кВт, не менше 160
Діапазон регулювання швидкості робочого ходу контейнера, мм/год, у межах 2 ... 30
Витрата води, мі/год, не менше 10
Габаритні розміри, мм
У плані 7800Ч2000
Висота 2200
Маса установки, кг, не більше 4250
В
Рис. 11
Установка складається з високочастотного генератора, робочої камери з водоохолоджуваними стінками, механізму опускання нижнього штока, на якому кріпиться холодний контейнер, системи стабілізації потужності генератора і потоку охолоджуючої води.
ВЧ-генератор складається з високовольтного випрямляча, лампового генератора і ланцюгів керування і захисту. Генератор може використовуватися як з одноконтурної, так і з двоконтурної схемами. Його особливістю є те, що він повинен стійко працювати при максимальній напрузі в умовах різких змін навантаження: практично від повної її відсутності до максимальної. p align="justify"> Робоча камера служить для створення необхідної атмосфери. Крім того, вона охороняє обслуговуючий установку персонал від потужного температурного випромінювання з поверхні розплаву і від радіовипромінювання з індуктора і підвідних шин. Для підтримання сталості середньої температури розплаву і фазового рівноваги в системі В«розплав - тверда оболонкаВ» застосовуються пристрої стабілізації анодної напруги (або напруження генераторної лампи) і потоку охолоджуючої води. p align="justify"> До конструкції охолоджуваного контейнера пред'являється ряд вимог:
. Перш за все, тому що джерело енергії знаходиться поза контейнера, останній повинен бути В«прозоримВ» для енергії. Це означає, що він повинен мати розрізи, що перешкоджають замикання кругових струмів (якщо контейнер з металу) або повинен виготовлятися з діелектричного матеріалу. p align="justify">. Також контейнер повинен бути виготовлений з матеріалу, що володіє високою теплопровідністю, щоб інтенсивно охолоджуватися водою. p align="justify"> Використовуваний для даної роботи контейнер складається з мідних трубчастих елементів, закріплених на азбестовому диску за допомогою болтів. Мідні трубки інтенсивно охолоджуються водою. Дно контейнер...
