ustify"> 0,98940,99740,99971,00000,99991,00001,00000,99970,9991 Rсмод 0,01010,00250,00040,00000,0001030,0000240,0000370,000340,9990 В
.5 Аналіз результатів розрахунків
Для вибору оптимальної конструкції просветляющего покриття побудуємо графіки спектральних залежностей R = f (л) для всіх типів покриттів в єдиній системі координат.
В
Оптимальною буде та конструкція, яка забезпечує мінімальний коефіцієнт відбиття на робочій довжині хвилі л 0 = 600 нм і більш широку зону просвітління в заданій області спектру.
Таким чином, оптимальним є 4-х шарове оптичне покриття.
Побудуємо графіки спектральних залежностей R = f (л) для 4-хслойную покриття (теоретичний і змодельований):
В
Позначимо вибрану конструкцію просветляющего покриття:
ВД - просветляя. 97ІЕ 112 ІЕ 97 ІЕ 110 ІЕ 150
л 0 = 600 нм В± 20 нм;
з min = 0,006;
л 1 - л 2 < span align = "justify"> = 400 - 800 нм.
Матеріал підкладки: ЛК-1 ГОСТ 3514-94;
n з = 1.441
Для даної конструкції просветляющего покриття складемо технологічний процес.
Технологічний процес
Технологічний процес включає такі основні операції:
Очищення підкладок.
Підготовка вакуумної камери.
Іонна очищення підкладок.
Нагрівання підкладок до фіксованої температури.
050 Нанесення оптичних покриттів:
Нанесення оптичного покриття YF 3 .
Нанесення оптичного покриття LaF 3 .
Нанесення оптичного покриття YF 3
Нанесення оптичного покриття CaF 2 .
Розгерметизація вакуумної камери, вивантаження готових виробів.
Контроль оптичних параметрів покриття.
Зміст операцій:
