y">
010 - Очищення підкладок : підкладки зі скла ЛК-1 ГОСТ 3514 - 94 знежирюють в суміші петролейного ефіру і етилового спирту у співвідношенні 75% - 25% і остаточно протирають тампонами знежиреної вати, змоченої в абсолютному етиловому спирті. Очищені деталі протирають знежиреними батистовими серветками. Готові деталі вставляють у знімні оправи подложкодержателя і з поверхонь білячої пензликом видаляються ворсинки. Очищені деталі в оправах завантажують у подложкодержатель, і подложкодержатель встановлюється у вакуумну камеру. При виконанні цієї операції оператор повинен працювати в гумових рукавичках або напальчниках.
020 - Підготовка вакуумної камери відбувається паралельно з операцією 010:
S Очищення елементів подколпачной апаратури (екранів, випарників, заслонів) від плівок випаровуються, і просочення їх спиртом.
S Завантаження вихідних плівкоутворюючих матеріалів у випарники (YF 3 , LaF 3 , і CaF 2 в 4 х позиційний тигель електронно-променевого випарника).
S Завантаження подложкодержателя з очищеними оптичними деталями.
S Перевірка працездатності механізмів і пристроїв у вакуумній камері: обертання подложкодержателя, переміщення заслінок , Робота фотометра.
S Відкачування камери до тиску приблизно 2 Па.
030 - Операція іонного очищення підкладок проводиться в камері (р = 2 ... 1.38 Па) протягом 5-10 хвилин при напрузі 500 В на електроді іонного очищення і струмі розряду 150 - 200 мА. При цьому включається обертання подложкодержателя з частотою n = 10-20 хв -1. У процесі іонного очищення іонами залишкових газів з поверхні видаляються порошинки і молекули важких газів. По закінченні іонного очищення камера відкачується до Р = 10 -2 - 10 -3 Па.
040 - Нагрівання підкладок до фіксованої температури Т підлий
