з'являється лише при підвищенні температури підкладки до Тподл=3300С. При подальшому збільшенні температури осадження він стає більш інтенсивним і досягає максимуму при Тподл=3500С. Однак подальше зростання температури сприяє зменшенню інтенсивності відображення аж до його втрати при Тподл=4200С.
Підвищення температури випарника до Тисп=1300С призводить до деяких змін кристалічної текстури плівок Co (Малюнок 9, б). Дифракційна картина для зразків Co, обложених при температурах Тподл=300 - 3400С, містить додаткові піки? -Co (100) (2?=41.7?),? -Co (101) (2?=47.6?) І? -Co ( 200) (2?=51.7?). Інтенсивність даних дифракційних піків також визначається температурою підкладки. Зі збільшенням Тподл від 300 до 3200С інтенсивність піків підвищується. Однак подальше зростання температури до Тподл=330 і 340 0С призводить до поступового їх ослаблення. Варто відзначити, що плівки Co, отримані при температурі підкладки Тподл=320 0С, характеризуються найбільш яскраво вираженою текстурою (максимальна висота дифракційних піків), що говорить про високий ступінь структурної упорядкованості даних плівок.
Аналіз малюнка 9 показує, що підвищення температури випарника від 120 до 1300С призводить до істотної зміни дифракційної картини плівок Со. Результати детального дослідження впливу температури випарника на структуру металевих плівок, обложених при температурі підкладки Тподл=3300С, представлені на малюнку 10.
Рисунок 10 - дифрактограмі зразків плівок Co, обложених при?? азлічних температурах випарника і при Тподл=3300С
Встановлено, що плівки Co, отримані в інтервалі температур випарника від Тисп=120 до 1400С, характеризуються тільки одним піком, відповідним a -Co (002) і? -Co (111). Причому інтенсивність даного піку підвищується із зростанням температури випарника. Збільшення температури до Тисп=1450С сприяє виникненню додаткових віддзеркалень? -Co (100),? -Co (101) і? -Co (200), інтенсивність яких досягає максимуму при температурі Тисп=1500С. Однак подальше зростання температури до Тисп=1550С призводить до зникнення додаткових піків, а також різкого зменшення інтенсивності відображення від основного піку, відповідного a -Co (002) і? -Co (111).
Розміри областей когерентного розсіювання (ОКР) і мікронапруги в досліджених плівках Co представлені в таблиці 2. З таблиці видно, що розмір ОКР плівок, обложених при Тисп=1200С, слабо залежить від температури підкладки в діапазоні температур від 300 до 3500С. Проте зі збільшенням температури понад Тподл=350 0С розмір ОКР починає зменшуватися. Аналогічний характер залежності розмірів ОКР від температури підкладки спостерігається для плівок, обложених при Тисп=1300С.
Таблиця 2 - Елементний склад, розмір ДКР і мікронапруги s плівок Co, отриманих при різних температурах випарника Тисп і підкладки Тподл
Тисп, 0СТподл, 0СЕлементний составОКР, нм s, ГПаПервая партія120310Co 91.4%, C 8.3%, O 0.3% 171,7120330Co 89.9%, C 9.5%, O 0.6% 151,4120350Co 84.1%, C 11.6%, O 4.3% 191,2120370Co 80.0%, C 18.9%, O 1.1% 131,4120420Co 44.2%, C 55.7%, O 0.1% 110,8Вторая партія130300Co 84.8%, C 14.2%, O 0.1%, N 0.9% 350,4130310Co 86.5%, C 12. 6%, O 0.2%, N 0.7% 260,5130320Co 92.3%, C 7. 2%, O 0.5% 330,2130330Co 93.5%, C 6.0%, O 0.5% 260,4130340Co 90.9%, C 8.8%, O 0.3% 200,3Третья партія120330Co 89.9%, C 9.5%, O 0.6% 151,4130330Co 93.5%, C 6.0%, O 0.5% 260,4135330Co 92.8%, C 6.4%, O 0.8% 390,3140330Co 95.1%, C 4.6%, O 0.3% 160,4145330Co 94.3%, C 4.8%, O 0.9% 200,2150330Co 92.3%, C 7.0%, O 0.7% 160,3155330Co 90.9%, C 8.3%, O 0.8% 160,1
При цьому зіставлення зразків з першої і другої партій дозволяє зробити висновок, що зі збільшенням температури випарника від 120 до 1300С зменшується температурний діапазон, при якому плівки характеризуються постійним розміром зерна (якщо прийняти припущення, що ДКР тотожний зерну ).
Залежність розмірів ОКР плівок Co від температури випарника носить екстремальний характер (Таблиця 2). З ростом Тисп від 120 до 1350С розмір ОКР збільшується більш ніж в два рази. Подальше підвищення температури випарника до Тисп=1400С призводить до різкого зниження розміру ОКР, який зберігається незмінним аж до Тисп=1550С.
мікронапруги в плівках Co, обложених при Тисп=1200С, знижуються з ростом температури підкладки, в той час як в плівках, отриманих при Тисп=1300С, вони залишаються постійні у межах похибки вимірювань (Таблиця 2). Варто відзначити, що збільшення температури випарника від 120 до 1300С призводить до триразового зменшення мікронапруг. При цьому подальше зростання температури випарника аж до Тисп=1550С на величину мікронапруг не впливає.
Методом Енергодисперсійний рентгенівської спектроскопії встановлено, що температура підкладки суттєво впливає на елементний ...
