Реферат Розрахунок багатошарових просвітлюючих і відображають покриттів

Тема: Курсовые обзорные

pan align="justify"> = 150 0 С, відбувається у високому вакуумі при одночасному обертанні подложкодержателя. При цьому з поверхні оптичних деталей видаляються пари води і молекули легких газів. Час нагрівання 5 - 15 хвилин.

050 - Нанесення оптичного покриття починають після знегажування плівкоутворюючих матеріалів при закритій заслінці. Для цього матеріал нагрівають до температури на 100 0 С нижче, ніж Т ісп. У процесі прогріву тиск вакуумної камери підвищується, а потім знижується до Р = 10 -3 Па. Знегажування вважається закінченим, коли тиск відновлюється до початкового значення. Далі включають фотометр, виводять нагрівач або ЕЛІ на режим випаровування, відкривають заслінку і проводять випаровування матеріалу, фіксуючи параметри випарника або ЕП. Контроль за нанесенням випарника ведуть по фотометрі. При нанесенні просвітлюючих покриттів метод контролю на пропускання роздільний, так як m? 3, і екстремальний.

051 - Нанесення оптичного покриття YF 3 .

Режими нанесення плівки:

ІЕ Р = 10 -3 Па;

Т ісп = 1136 В° С;

Т під = 150 В° С;

U = 6 кВ;

I н = 10-12 А;

I ем = 20-60 мА.

052 - Нанесення оптичного покриття LaF 3 .

Режими нанесення плівки:

ІЕ Р = 10 -3 Па;

Т ісп = 1750 В° С;