ьо легко, а годину Експозиції незначна, что зводе до мінімуму ризико ВТРАТИ роздільної здатності Із-за механічної чг якоїсь Іншої нестійкості приладнав [4]. br/>В
Рисунок 3.2 - До Пояснення світлопольного режиму [8]
Яскравість зображення регулюється іншим конденсором та Струмило пучка. Фокусування зображення здійснюється про єктівом. Збільшення регулюється проміжною лінзою [8].
3.2 Результати експериментальних ДОСЛІДЖЕНЬ
У статьи В.А. Богуша В«Струкурние властивості хімічно обложених тонких плівок срібла з вольфрамомВ» опісується про Дослідження осадженим тонких плівок срібла з вольфрамом за помощью ПЕМ.
Дослідження, проведені методами просвітчуючої Електронної мікроскопії, мают позбав якісний характер и НЕ дозволяють кількісно охарактеризувати Сполука плівок через невісоку чутлівість методу. Булі розглянуті кінетіка осадженим, структурні ї електричної Властивості тонких плівок срібла з вольфрамом у діапазоні товщина від 30 до 200 нм. p align="justify"> осадженим Було проведено на поверхні актівованого паладієм полірованого оксиду кремнію хімічнім відновленням з водяним розчінів. Обговорюється Вплив вольфраму на Механізм Формування осадів. Показано, что срібні плівкі, что містять 0,4-0,6% вольфраму, мают підвіщену ЕЛЕКТРИЧНА провідність и корозійну стійкість, что пояснюється більш щільною структурою осадів внаслідок сегрегації вольфрам на межах зерен. Обговорюється можливе! Застосування Розроблення методик для Формування провідніх и захисних шарів у вироб Електронної техніки й мікроелектроніці. p align="justify"> При дослідженні елементної Сполука плівок Було ВСТАНОВЛЕНО, что обложиш складаються в основному Зі срібла з невеликим змістом вольфраму ї кисни. Прісутність на спектрі плівкі піків міді обумовлено наявністю мідної решітки, что Виконує функцію Тримач зразки 50 нм плівкі Ag (W), відділеної від підкладкі. p align="justify"> Детальні Дослідження мікроструктурі плівок були проведені методами просвітчастої Електронної мікроскопії. Плівкі мают полікрісталічну структуру з розміром зерна порядку товщина плівкі, что є характерним для тонких металевих плівок. После вакуумного відпалювання спостерігається ріст зерен в 1,5-2 рази. p align="justify"> аналіз елементної Сполука зерен и границь зерен плівкі срібла з вольфрамом (рис. 3.3) показавши, что зерно Складається Зі срібла, має крісталічну структуру, характерну для срібла (111) кубічної модіфікації, и НЕ містіть домішок.
З обліком наявних на сучасний момент даніх, что ні вольфрам, ні его Сполука з кисни НЕ розчіняються в крісталічній решітці срібла, Отримані оксиди повінні мати багатофазну структуру. У тієї ж годину слід Зазначити, что окремої фази, что Включає вольфрам, у плівці виявлено Не було. Встановлено, что концентрація вольфраму на границі зерна набагато Ви...
