нсованому стані мают фазові склад ГЦК-Cu + ГЦК-Cu 2 O. Трансформація ГЦК-Cu у твердий розчин (Cu-O) спостерігається при відпалюванні Вище 700 К. Істотна зміна крісталічної структурованих и фазового складу (рис.2.5), яка впліває на електрофізічні Властивості, відбувається при термообробці у температурному інтервалі 800 - 990 К. У плівковіх зразки утворюються оксидні кристали розміром до 1500 нм, Які розміщуються на тонкому підшарі твердого Розчин (Cu-O). Зміна крісталічної структурованих та фазового складу відбувається при температурах відпалювання Вище 800 К. Так, при Тв = 800 и 850 К плівка має гетерогенний структуру. Відпалювання при Тв = 1000 К виробляти до того, что на електронограмах знікають Лінії, Які належати Cu 2 O [12].
В
Малюнок 2.5 - Електронограмі від плівок Cu з початкових товщина d = 30 нм, відпаленіх при різніх температурах Тв [12]
3. Використання СВІТЛОПОЛЬНОГО РЕЖИМУ У НАУКОВО ДОСЛІДЖЕННЯХ
.1 Принцип Формування світлопольного зображення
Наступний режимом роботи ПЕМ є метод світлопольного зображення. Даній метод представляет собою звичайний режим роботи ПЕМ, коли спостерігається на екрані мікроскопа зображення про єкта. На малюнку 3.1 наведено для ілюстрації зображення крісталічної структурованих плівкі Al, отримай в режімі світлого поля.
В
Малюнок 3.1 - Мікрознімок структурованих плівкі Al товщина 50 нм, отриманий у світлопольному режімі
Колоні ПЕМ у більшості віпадків виготовляють трьохлінзовімі, для якіх характерна наявність про єктіва, проміжної та проектівної Лінз. На рис. 1.1 наведено Хід променів у колоні мікроскопа Із трьохступеневім збільшенням. Для проміжної лінзі предметні площинах Виступає площинах зображення про єктівної лінзі. Для проектівної лінзі предметні площини Виступає площини зображення проміжної лінзі. Використання трьохлінзовіх колон Дає можлівість досягті Збільшення до 10 5 -10 6 крат.
При работе у цьом режімі, зображення формується Завдяк пройшовшому пучку електронів, колі Апертурний діафрагма відтінає діфраговані пучки. У мікроскопі задіюються ВСІ лінзі колони, введені освітлювальна та апертурні діафрагмі. При работе в цьом режімі можна розпізнаті Сходинка в угільній плівці Товщина 7нм [5]. p align="justify"> Зразок орієнтується таким чином, щоб відбіття Вищих порядків систематичного ряду Суворов задовольнялі умови діфракції. Зображення формується Проходячи пучком. Оскількі інтенсівність фону Дуже велика, фокусування проводитися й достатн...
