P>
Малюнок 1.6 - Залежність розчінності домішок в кремнії від температури
Кремній и германій утворюють безперервній ряд твердих розчінів. Рівноважній коефіцієнт розподілу германію в кремнії у области високих концентрацій Рівний 0,33.
Гранична розчінність олова в кремнії має місце при температурах нижчих за точку плавлення кремнію - около 5ЧЧ1019 ат/см3 при 1250 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу олова в кремнії Рівний 0,015 ± ± 0,002.
У рідкому кремнії свинець трохи розчіняється и дані про область твердих розчінів свинцю в кремнії відсутні. Рівноважній коефіцієнт розподілу свинцю в кремнії »» 5ЧЧ10-4.
Взаємодія кремнію з бором - однієї з найважлівішіх домішок в кремнії, досліджено Достатньо детально. У области великих концентрацій бору, около 7,42% (ат.), має місце евтектіка з температурою плавлення біля 1403 ° С. Гранична розчінність бору в кремнії складає около 5ЧЧ1020 ат/см3 при 1250 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу бору в кремнії (при его крісталізації) складає 0,8.
Система кремній-алюміній у области великих концентрацій при 87,9% (ат.) Алюміній має евтектіку, плавку при 577 ° С. Гранична розчінність алюмінію в кремнії складає 2ЧЧ1019 ат/см3 при 1350 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу алюмінію в кремнії має величину (2-4) * 10-3.
Система кремній-Галій має вироджених евтектіку, что містіть 5ЧЧ108% (ат.) кремнію и плавку при 30 ° С. Гранична розчінність галію в кремнії складає 2,1 ЧЧ1019 ат/см3 при 1255 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу галію в кремнії має величину 8ЧЧ10-3.
Система кремній-індій досліджена недостатньо. Евтектіка містіть 2ЧЧ108% (ат.) кремнію. Гранична розчінність індія в кристалах кремнію 6,7 ЧЧ1020 ат/см3 при 1170 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу індія в кремнії Рівний 4ЧЧ10-4.
Кремній и талій в розплавленому стані НЕ змішуються. Гранична розчінність талія в Поверхнево шарі кремнію, підданому діфузійному насіченню в інтервалі температур 1105-1320 ° С, складає (2-4) ЧЧ1017 ат/см3. Коефіцієнт розподілу талія в кремнії Рівний »» 4ЧЧ10-4.
До іншого типу донорів відносіться літій, енергія іонізації Якого рівна 0,033 еВ.
Діаграма стану системи кремній-фосфор має Складний характер. Гранична розчінність фосфору в кремнії при 1250 ° С досягає Величини около 1021 ат/см3. Рівноважній коефіцієнт розподілу фосфору в кремнії Рівний 0,35.
Система кремній-миш «як такоже має Складний характер. Крім хімічного з »єднання SiAs (арсенід кремнію), в ній при 40,5% (ат.) миш« якові є евтектіка, плавка при 1073 ° С. Гранична розчінність миш »якові в кремнії складає 2ЧЧ1021 ат/см3 при 1130 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу миш'як в кремнії має величину 0,3.
Система кремній-сурма має вироджених евтектіку, что містіть 0,3% (ат.) кремнію. Гранична розчінність сурми в кремнії складає 7ЧЧ1019 ат/см3 при температурі 1327 ° С. Рівноважні КОЕФІЦІЄНТИ розподілу сурми в кремнії Рівні 2,3 ЧЧ10-2.
У Системі кремній-вісмут має місце неможлівість змішування рідкіх фаз. Гранична розчінність вісмуту в кремнії складає 8ЧЧ1017 ат/см3 при 1200 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу вісмуту в кремнії оцінюється величиною 7ЧЧ10-4.
Система кремній-літій має Складний характер. Гранична розчінність літію в кремнії складає 6ЧЧ1019 ат/см3 при 1150 ° С. Рівноважній коефіцієнт розподілу літію в кремнії оцінюється величиною около 1ЧЧ...