п'єзоелектричним мікроактюатором - це інноваційний приклад використання МЕМС технології в хірургічних інструментах (рис. 13). П'єзоелектричний кроковий двигун дозволяє точно управляти положенням скальпеля. Використовуючи здатність вимірювати напругу, випробовуване скальпелем під час різання, можна кількісно визначати і управляти фактичної силою різання. Ультразвуковий ріжучий інструмент, виготовлений за допомогою об'ємної мікрообробки - це інший хороший приклад використання МЕМС технології для застосування в хірургічних інструментах. br/>В
Рис. 13
П'єзоелектричний матеріал приєднується до ріжучого інструменту для резонірованія кінчика пристрою в ультразвукової частоті. Тільки коли пристрій приведено в дію воно буде швидко і легко різати навіть жорсткі тканини (наприклад застиглий очний кришталик пацієнта з катарактою). Пристрій, показане на рис. 26, включає в себе вбудований мікроканал через який можна при різанні видаляти рідину і хірургічні залишки. h3> Міні-фільтри
Процес використовуваний для виробництва звичайних фільтрів, здатних відбирати об'єкти мікрорівня, непридатний через широкого статичного розкиду розмірів об'єктів, які можуть проходити через фільтр. Мікрообробка і МЕМС технологія використовується для створення фільтрів, які точно і однорідно оброблені, і в яких значно знижений статистичний розкид проходять об'єктів (мал. 14).
В
Рис. 14
Висновок
Технічний прогрес рухається вперед, і основний напрямок-мокромініатюрізація. Безумовно МЕМС технології чекає велике майбутнє. Мікромеханіка дозволить виробляти механічні маніпуляції з дуже великою точністю на мікрорівні, де звичайна механіка марна.
Список літератури
В
1. Microsystem Engineering (Prof. Dr.-Ing. Kasper),
2. Introduction to microelectromechanical systems,
3. perst.isssph.kiae.ru
4. Лацапнев Є., Яшин К.Д., micromachine.narod.ru
5. Журнал "Микросистемность техніка", microsystems.ru
6. Науково-дослідна лабораторія мікротехнологій і МЕМС СПбДУ, mems.ru
7. memsnet.org
8. trimmer.net
9. microbot.ru
10. nanonewsnet.com
11. nanobot.ru
12. Lyshevski S.E., "NANO-AND MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - Fundamentals of Nano-and Microengineering ", CRC Press
В
