Нанесення антіотражающіе шару SiN;
Металлизация (створення металевих контактів на зворотній стороні пластини методом трафаретного друку);
Сушка і вжигание;
Створення контактів на лицьовій стороні пластини;
Вирівнювання пластини;
Перевірка і тестування.
Обладнання під кожен з етапів поставляють європейські та американські компанії - RENA, Roth & Rau, DESPATCH, BACCINI, MANZ - одні зі світових лідерів з виробництва устаткування у сфері сонячної енергетики. У Росії дані компанії представляє ТОВ «Совтест АТЕ».
рис. 18 «Обладнання для виконання рідинної хімічної обробки»
Пластини на виробництво надходять практично готовими до подальшого їх використання, необхідно тільки видалити пошкодження, що утворюються на поверхні при різанні. У цих цілях застосовується обладнання для виконання рідинної хімічної обробки, виробником якого є компанія RENA (Німеччина). Крім цього, установки компанії, а зокрема система серії InTex, покращує светоудержівающіе властивості пластин шляхом створення структури на їх поверхні.
рис. 19 «Фото зі скануючого електронного мікроскопа»
На зображенні наведена фотографія, отримана за допомогою скануючого електронного мікроскопа, структури, отриманої на поверхні пластини після обробки її в системі InTex. Даний процес виконується за допомогою кислотних (рідше - лужних) реагентів. Системи дозволяють працювати з пластинами діаметром 125 і 156 мм, товщиною від 150 мкм.
рис. 20 «Дифузійна піч»
Наступний етап - процес нанесення на пластину шару фосфору і його вжигание, ці процеси можуть бути виконані на одній установці - в дифузійної печі компанії DESPATCH, яка дозволяє виконувати процес одночасно на двох сторонах пластини. Печі цієї компанії відрізняє досить висока продуктивність, однорідність підтримки температури усередині печі і висока швидкість набору температури, а також здатність конфігурування конвеєра як справа наліво, так і зліва направо.
рис. 21 «Установка для зняття непотрібних шарів фосфосілікатного скла»
Після дифузії пластини потрапляють на установку компанії RENA - в систему серії InOx, призначену для ефективного зняття непотрібних шарів фосфосілікатного скла (необхідно для підвищення продуктивності), а також виконує додаткове очищення пластин перед осадженням нітриду кремнію, що виконується на установці компанії Roth & Rau.
рис. 22 «Установка для нанесення антіотражающіе покриття»
Обладнання серії SiNA ® призначено для нанесення антіотражающіе покриття (SiN) і для пасивації сонячних батарей. Дана установка виконує один з основних етапів у виробництві сонячних батарей, тому що сильно впливає на ККД батарей. Наступний етап - це створення металевих контактів на зворотній стороні пластини. Можна виконати методом трафаретного друку (наприклад, на принтерах компанії BACCINI), після чого пасту сушать у печах DESPATCH.
рис. 23 «Пластина»
Після всіх цих процесів практично в 100% випадків пластина набуває вигин внаслідок термічного напруги різних матеріа...
