та впровадження алюмінію в кремній через контактні вікна.
Рекомендований режим вжигания - нагрівання до температури 550? С з витримкою 5 - 10 хв.
. Місцева фотолітографія і травлення ділянок металевої плівки.
дифузійний резистор напівпровідниковий інтегральний
Висновки
Мета даного курсового проекту - навчитися проектувати окремі елементи твердотільних інтегральних мікросхем, що реалізуються в умовах серійного виробництва за планарною технології. При виконанні курсового проекту я ознайомився зі способом проектування дифузійного резистора, який входить до складу інтегральної мікросхеми, реалізованої в умовах серійного виробництва за планарною технології, набув досвіду самостійного вирішення інженерних завдань у галузі проектування елементів інтегральних пристроїв РЕЗ, а також досвід роботи зі стандартами і довідниками , методиками проектування. У ході виконання курсової проект, я застосовував на практиці теоретичні знання з загальноінженерних і спеціальних дисциплін, різні методи розрахунку. У виконання даної роботи я вибрав технологію, спроектував процес і технологічну оснастку для виготовлення дифузійного резистора.
Список використаної літератури
1.Данілов І.І. Методичні вказівки до курсового проектування з курсу «Інтегральні устрою РЕМ». М.: Видавництво МГТУ. 2003. 7 с.
2.Парфенов О.Д. Технологія мікросхем: навчальний посібник для вузів за фахом «Конструювання і виробництво ЕВА».- М.: Вища школа, 1986. - 320 с., Мул.
. Парфьонов О.Д. Розрахунок і конструювання інтегральних резисторів: Методичні вказівки з курсового проектування з курсу «Микроминиатюризация електронно-обчислювальних засобів». М.: Видавництво МГТУ. 1994. 28 с., Мул.
