C до того, як частинки будуть видалені.
Після сушіння Durimide 100 можна видалити за пластини використовуючи рідинне травлення:
. N метилпіролідон протягом 5 хвилин при 85? С.
. Розчинник полиимида QZ3322 протягом 5 хвилин при 70? С.
. N метилпіролідон протягом 5 хвилин при кімнатній температурі.
. Відмивання в деіонізованной воді
Повністю імідізірованний полиимид не можна легко зняти хімічними способами. Найефективнішим в даному випадку буде зняття шару полиимида в плазмі (O?/СF?; 5: 1)
2.3 Устаткування для нанесення полиимида
Високі в'язкість і токсичність полиимида унеможливлюють автоматичне нанесення на стандартних треках нанесення SOG або фоторезиста. Тому одним з методів нанесення на пластину поліімідного прекурсора було ручне дозування на пластину під час обробки пластин на центрифузі. Щоб позбутися від людського фактора при нанесенні розчину, було вирішено використовувати новий трек SVG 8826 і підключається до нього насос для високов'язких рідин (HighViscosityPumpM600).
Трек SVG 8826
Для нанесення полиимида використовувалася установка нанесення SVG 8826. До складу установки входять: модуль нанесення з рухомою рукою-дозатором і системою відмивання зворотного боку пластини, три нагрівача - «гаряча» плита, «холодна» плита, пристрої завантаження - вивантаження пластин, спеціалізований пристрій дозування.
Послідовність роботи модуля нанесення шару при обробці однієї пластини поліімідного прекурсором з використанням насоса для високов'язких рідин: підйом «руки» дозування і переміщення її до центру пластини, опускання руки, подача розчину на нерухому пластину, повернення у вихідне становище і опускання руки дозування у ванну межціклових зберігання, включення обертання пластини, зупинка обертання пластини, обертання з високою швидкістю, перехід на меншу швидкість обертання і включення відмивання зворотного боку пластини при одночасному підйомі, перехід на швидкість обертання для сушіння пластини
Робоча програма для нанесення полиимида
Насос «High Viscosity Pump M600»
Насос для високов'язких рідин (далі насос) дозує речовини в дуже точних і відтворюваних кількостях, використовуючи поліпшену технологію позитивного переміщення і тиску за завданням. Технологія позитивного переміщення насоса застосовна для вязкостей в діапазоні від 250 ср (сантіпуаз) до 30000 СР Насос має повністю тефлоновий тракт руху рідини і сумісний з широким набором хімічних речовин: Полиимид, розчинниками та іншими високов'язкий рідинами використовуваними в напівпровідниковій промисловості. Насос зручний для користувача і застосовує програмне забезпечення ChemNet. ChemNet забезпечує набір всіх необхідних функцій для управління, конфігурування та моніторингу насоса. ChemNet є GUI (графічним інтерфейсом користувача) [розробленого ф. IntegratedDesigns] для сполучення з різними пристроями ф. IDI, працює під управлінням Windows 95 або Windows NT на будь-яких ноутбуках або десктоп комп'ютерах з RS - 232 серійним портом. При використанні опціонального конвертера RS - 232 в RS - 485 можливе підключення до декількох пристроїв.
У робочому стані насос знаходиться стані очікування керуючого сигналу від обладнання, керуючого дозуванням. Насос реагує на керуючий сигнал видачею заздалегідь запрограмованої дози. Величина дози і час її видачі, затримка часу відсмоктування і його величина програмуються з використанням ChemNet. Після дозування насос «перезаряджається». Час перезарядки встановлюється за допомогою ChemNet. Часи дозування і перезарядки встановлюються відповідно до в'язкістю використовуваного речовини. Велика в'язкість вимагає більшого часу заповнення. ChemNet забезпечує набір всіх необхідних функцій для управління, конфігурування та моніторингу насоса. Всі програмовані параметри доступні через RS - 232 або RS - 485 комунікаційну зв'язок з використанням Р2 коннектора розташованого на насосі. Насос дозволяє зберігати дві програми-рецепта в режимі IDI інтерфейсу і три в режимі інтерфейсу TEL. Рецепти завантажуються з використанням ChemNet. Вибір рецепта виробляється з використанням інтерфейсу треку або через серійний комунікаційний інтерфейс. У режимі інтерфейсу TELldt дві лінії перемикання дозування индицируют використовуваний рецепт.
Основний екран програми ChemNet
ЕкранHVP Operational Parameters
Список змінних параметрів та індикаторів
BubbleSensor.
Датчика пухирців (bubblesensor) використовується для виявлення повітряних бульб...
