атори використовуються в робототехніці, в керуючих пристроях, в космічній галузі, в біомедицині, дозиметрії, у вимірювальних приладах, в технології розваги, в автомобілебудуванні і в домашньому господарстві. Наприклад, мікроактюатори потрібні для управління резонансними датчиками (вони генерують і передають їм резонансну частоту), для управління ріжучими інструментами в мікрохірургії. Це можуть бути також різні мікродвигуни, які використовуються для управління реле, мікродзеркалах і мікрозажімамі. Мікроактюатором може бути навіть мікроелектродну пристрій для порушення м'язових тканин в неврологічних протезах. br/>В
Рис. 11. Мікроактюатор в МЕМС
Всі методи активації (рух, деформація, приведення в дію) в таких пристроях коротко можна звести до наступних: електростатичний, магнітний, п'єзоелектричний, гідравлічний і тепловий. При оцінці використання того чи іншого методу часто застосовують закони пропорційного зменшення розмірів. Найбільш перспективними методами вважаються п'єзоелектричний і гідравлічний, хоча й інші мають велике значення. Електростатична активація застосовується приблизно в однієї третини мікроактюаторов, і це, ймовірно, найбільш загальний і добре розроблений метод; головні його недоліки - знос і злипання. Магнітні мікроактюатори зазвичай вимагають відносно великого електричного струму, також на мікроскопічному рівні. При використанні електростатичних методів активації одержуваний вихідний сигнал на відносну одиницю розмірності краще, ніж при використанні магнітних методів. Іншими словами, при одному і тому ж розмірі електростатичне пристрій видає кілька кращий вихідний сигнал. Теплові мікроактюатори теж споживають відносно багато електричної енергії; головний їхній недолік полягає в тому, що генерується тепло доводиться розсіювати. p align="justify"> Для оцінки мікроактюаторов використовують такі критерії якості, як лінійність, точність, погрішність, повторюваність, дозвіл, гістерезис, порогове значення, люфт, шум, зсув, несуча здатність, амплітуда, чутливість, швидкість, перехідна характеристика, масштабованість, вихід по енергії.
Рис. 12. Зразок мікротурбіни. br/>
Раз вже зайшла мова про потоки і енергії, не можна не згадати і розробку Массачусетського технологічного інституту - MEMS-турбіну. Цілком типова турбіна, але дуже, дуже маленька. Розробляється вона в якості заміни традиційних літій-полімерних акумуляторів - в першу чергу, для тих додатків, де потрібно досягти мінімальних розмірів і максимальної енергоємності на кілограм. На рис. 12 зображений один з ранніх зразків мікротурбіни, розроблений в Массачусетському технологічному інституті
Скажімо, для сучасних літій-іонних акумуляторів, що використовуються в ноутбуках, характерні показники порядку 200 Вт В· год/кг. У MIT вже до 2007 року повинні були довести показник до 500-700 Вт В· год/кг, а в перспективі збир...
