аються замахнутися на 1200-1500 Вт В· год/кг. Що істотно перевищує будь-які розумні прогнози щодо розвитку традиційної Li-Ion технології. p align="justify"> Як і з більшістю MEMS, принцип можна використовувати в зворотному напрямку: замість того, щоб перетворювати тиск в електроенергію, можна вчинити навпаки. У цьому випадку з мікротурбіни після В«обробки напилкомВ» виходить мікронасос. (Рис. 13)
Рис. 13 Схема мікронасоса
вакуумний насос мікроелектроніка
Для управління мікронасоси використовуються наступні види мікроактіваціі: електричні, магнітні і п'єзоелектричні. Перший приклад це мініатюарізірованний насосний механізм, який складається з мікромеханізм, виготовлених за LIGA технології, які приводяться в дію магнітної силою. Він комерціалізовані MEMStek Products. Другий приклад - це електростатично керований електронасос, отриманий з'єднанням безлічі, виготовлених за технологією об'ємної мікрообробки, кремнієвих підкладок разом. Процес з'єднання створює насосну порожнину з деформируемой мембраною і двома односторонніми запірними (рис. 14). br/>
В
Рис. 14 Електростатичний мікронасос з двома запірними клапанами. br/>
Група з Каліфорнійського університету представила недавно магнітний мікромотор, що виробляє обертання вільного ротора в розчині за допомогою статора, що знаходиться поза рідини і складається з трьох магнитомягких мікрозондів з обмотками. Одержана швидкість обертання ротора до 250об/мін, обмежена темпом перемикання каналів комп'ютером. Швидкість може бути значно вище як наслідок малої маси і моменту інерції обертання ротора, а також малою індуктивності зондового вузла. br/>
