/span>
. Пожежна безпека - це стан об'єкту при якому виключається можливість швидкого виникнення пожежі, а у випадки його виникнення запобігання впливу на людей небезпечних факторів та забезпечення захисту матеріальних цінностей.
Установка В«Ораторія-5В»
. До роботи на установці В«Ораторія-5В» допускаються особи, що вивчили інструкцію з техніки безпеки при роботі на даному обладнанні, а також місцевий інструктаж з безпеки праці;
. Установку В«Ораторія-5В» може обслуговувати одна людина, що має кваліфіковану групу з техніки безпеки не нижче першої;
. Перед експлуатацією установки В«Ораторія-5В» підключити до цехового контуру заземлення за допомогою голої мідної або сталевої шини перерізом не менше 10 мм 2 . Болти для підключення захисного заземлення розміщені на задній стінці шафи управління і на задній стінці вакуумної установки;
. Налагоджувальні роботи, огляди й ремонт механізмів проводити тільки після відключення установки В«Ораторія-5В» від мережі живлення за допомогою вимикача МЕРЕЖА шафи управління;
. Забороняється під час роботи відключати кабелі, що з'єднують між собою окремі складові частини установки В«Ораторія-5В»;
Забороняється робота на установці В«Ораторія-5В» при відкритих дверях вакуумної установки і шафи управління
Висновок
У даному курсовому проекті я придбав практичні навички з експлуатації та обслуговування обладнання для отримання тонких плівок. У ході виконання проекту провів огляд сучасного обладнання і вибрав оптимальне, проаналізував методи нанесення тонких плівок, матеріали та конструкції магнетронів для іонного розпилення тонких плівок і вибрав оптимальне. Провів огляд основних конструктивних елементів робочої камери і принцип дії обладнання для нанесення тонких плівок, порядку підготовки, основних несправностей і методів їх усунення. Проаналізував питання з охорони праці. Розробив алгоритм обслуговування установки, розрахував час відкачування шлюзу. br/>
Література
1 Ю. В. Панфілов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цвєтков - Обладнання виробництва інтегральних мікросхем і промислові роботи. Москва - Радіо і зв'язок, 1996
О. С. Моряків В«Пристрій і налагодження устаткування напівпровідникового виробництваВ». Москва - Вища школа, 1989
Н. Айнспрук, Д. Браун - Плазмова технологія у виробництві НВІС. Москва - Світ, 1987
Л. Н. Розанов - Вакуумна техніка. Москва - Вища школа, 1990
