ZrO 2 ( n =1,1). Найбільшим коефіцієнтом поглинання на довжині хвилі 480 нм має Al 2 O 3 ( k =1,1), і найменшим ZrO 2 + SiO 2 ( k =0,1).
Проведені в роботі експериментальні вимірювання нанесених електронно-променевим напиленням тонких плівок показали, що елліпсометріческіе вимірювання параметрів тонких плівок є точним і надійним методом контролю технологічного процесу виготовлення складних композиційних покриттів, включаючи і прецизійні покриття високоотражающіх лазерних дзеркал. Застосовуючи результати аналізу вимірів можна оптимізувати процеси їх виготовлення.
. 3 Програма розрахунку інтерференційних покриттів
На підставі теоретичних даних [3] розроблено алгоритм розрахунку одношарового покриття і розроблена програма для визначення коефіцієнта пропускання і коефіцієнта відбиття на заданій довжині хвилі (малюнок 3.28).
Малюнок 3.28 - Схема коефіцієнта пропускання і відбиття для ZrO 2
Результат розрахунку одношарового інтерференційного покриття ZrO 2 показаний в додатку А. Розроблена програма в середовищі Microsoft Excel показана на малюнку 3.29.
Малюнок 3.29 - Вид програми в середовищі Microsoft Excel
Висновок
У даній дипломній роботі були розглянуті сучасні методи контролю товщини в процесі формування покриттів оптичного призначення. Відзначені перспективи методів контролю оптичної товщини покриттів різного функціонального призначення. Вивчено фотометричні методи визначення оптичної товщини тонких покриттів. Проведено експериментальні роботи з нанесення оптичних покриттів на основі тугоплавких оксидів. Нанесення здійснювалося в лабораторних умовах на установці електронно-променевого випаровування (ВУ - 1А). Здійснено контроль товщини оптичних покриттів на основі тугоплавких оксидів за допомогою вбудовуваної системи контролю оптичних характеристик Iris - 0211. Досліджено спектральні характеристики багатошарових покриттів на основі тугоплавких оксидів та визначено їх оптичні параметри. Експериментально проведені дослідження оптичних характеристик за допомогою спектрального еліпсометрія ESM 512. У результаті отримані дані: найбільшим показником заломлення на довжині хвилі 480 нм має ZrO 2 + SiO 2 , і найменшим ZrO 2 , а найбільшим коефіцієнтом поглинання на довжині хвилі 480 нм має Al 2 O 3 , і найменшим ZrO 2 + SiO 2 . На підставі теоретичних даних розроблено алгоритм розрахунку одношарового покриття і розроблена програма в середовищі Microsoft Excel для визначення коефіцієнта пропускання і коефіцієнта відбиття на заданій довжині хвилі.
За результатами дипломної роботи є акт впровадження лабораторної роботи Методика визначення коефіцієнта відбиття і коефіцієнта пропускання в інтерференційних покриттях у навчальний процес кафедри оптики фізичного факультету.
Список використаних джерел
1. Крилова, Т. Н. Інтерференційні покриття/Т. Н. Крилова.- Л .: Машинобудування, 1973. - 224 с.
. Демтредер, В. Інтегральна оптика/В. Демтредер; пров. з англ .; під ред. Т. Таміра.- М .: Світ, 1978. - 344 с.
. Андрєєв, С.В. Оптичні покриття: навчальний посібник з курсу для студентів./С.В. Андрєєв, Л.А. Губанова, Е.С. Путілін.- СПб: ГУІТМО, 2006. - 35 с.
. Данілін, Б.С. Вакуумне нанесення тонких плівок./Б.С. Данилін.- М .: Енергія, 1967. - 120 с.
. Баринов, Ю.А. Просте пристрій введення аналогового сигналу в комп'ютер/Ю.О. Барінов.- М .: Наука, 2003. - 64 с.
. Спектрометричний підсилювач. Гібридний мікроузел/А.Н. Архіпкін, В.Г. Бровченко, А.М. Кириченко, Н.А. Петров, І.Г. Толпекін, В.В. Федоренко.- М .: Наука, 2003. - 84.
. Автоматизація фотометричного контролю товщини загрожених шарів/С.В. Андрєєв, Н.Н. Карасьов, Е.С. Путілін, А.О. Шакін, - М .: Електроніка, 2003. - 143 с.
8. Майссел, Л.І. Нанесення тонких плівок катодним розпиленням/Л.І. Майссел//Фізика тонких плівок/пер. з англ .; під ред. Г. Хасса, Р. Туна.- М .: Світ, 196...
