"justify">
Висновок Для сучасного етапу розвитку інтегральної електроніки характерні тенденції подальшого підвищення робочих частот і зменшення часу перемикання, збільшення надійності, зниження витрат на матеріали і процес виготовлення ІС.
Зниження вартості ІС вимагає розробки якісно нових принципів їх виготовлення з використанням процесів, в основі яких лежать близькі характером фізико-хімічні явища, що, з одного боку, є передумовою для подальшої інтеграції однорідних технологічних операцій виробничого циклу і, з іншого боку, відкриває принципові можливості управління всіма операціями від ЕОМ.
Необхідність якісних змін у технології і технічного переозброєння галузі диктується також переходом до наступного етапу розвитку мікроелектроніки - функціональної електроніці, в основі якої лежать оптичні, магнітні, поверхневі та плазмові явища, фазові переходи, електронно-фононні взаємодії, ефекти накопичення та переносу заряду та ін
Критерієм «прогресивності» технологічного процесу поряд з поліпшенням параметрів і характеристик самого виробу є висока економічна ефективність, обумовлена ??низкою приватних, взаємопов'язаних критеріїв, що забезпечують можливість побудови комплектів повністю автоматизованого високопродуктивного обладнання з тривалим терміном експлуатації.
Найбільш важливими приватними. критеріями є: універсальність, тобто можливість проведення всього (або переважного числа операцій) виробничого циклу за допомогою одних і тих же технологічних прийомів; безперервність, яка є передумовою для подальшої інтеграції (об'єднання) цілого ряду технологічних операцій виробничого циклу, поєднується з можливістю використання одночасної груповий обробки значної кількості виробів або напівфабрикатів; висока швидкість - проведення всіх основних операцій технологічного процесу або ж можливість їх інтенсифікації, наприклад, в результаті впливу електричних і магнітних полів, лазерного випромінювання та ін; відтворюваність параметрів на кожній операції і високий відсоток виходу як напівфабрикатів, так і придатних виробів; технологічність конструкції виробу або напівфабрикату, відповідна вимогам автоматизованого виробництва (можливості автоматизованої завантаження, базування, монтажу, складання та ін), що повинно знайти своє відображення в простоті форми, а також обмеженості допусків на габаритні і базові розміри; формалізація, тобто можливість складання (на основі аналітичних залежностей параметрів вироби від параметрів технологічного процесу) математичного опису (алгоритму) кожної технологічної операції та подальшого управління всім технологічним процесом за допомогою ЕОМ; адаптивність (життєвість) процесу, тобто здатність тривалого існування в умовах безперервного появи і розвитку нових конкурентоспроможних процесів і можливість швидкого перестроювання обладнання під виготовлення нових видів виробів без істотних капітальних витрат.
Більшості з перерахованих критеріїв задовольняють процеси, що використовують електронні та іонні явища, що відбуваються у вакуумі і розріджених газах, за допомогою яких можна робити: іонне розпилення металів, сплавів, діелектриків і напівпровідників з метою отримання плівок різної товщини і складу, межсоединений, ємнісних структур, межслойной ізоляції, межслойной розводки; іонне травлення металів, сплавів, напівпровідників і діелектриків з метою вид...
