у роботі приймача GPS і перспективність застосування мікромеханічних гіроскопів і акселерометрів в інтегрованих навігаційних системах.
Фірма Murata (Японія) випускає дві модифікації п'єзоелектричних вібраційних гіроскопів ENV - 05A і ENC - 05E. Чутливий елемент гіроскопів цих типів являє собою призму, що має переріз у формі рівностороннього трикутника, на бічних гранях якої знаходяться п'єзоелементи для порушення першої форми згинальних коливань призми і знімання сигналів. Гіроскопічнимий датчик ENV - 05A має масу 45 г, габарити 58x25x25 мм, діапазон вимірюваних кутових швидкостей ± 90 град / с. Прилад ENC - 05E має масу 2,7 г габарити 8,5 x7, 6x21, 5 мм.
мікромеханічного датчики iMEMS (integrated Micro Electro Mechanical System) займають особливе місце серед різноманітних датчиків, що випускаються фірмою Analog Devices (США). Фірма протягом багатьох років випускає мікромеханічні датчики. Вони володіють різними характеристиками, мають як цифрові, так і аналогові виходи; крім того, багато датчики стали промисловим стандартом в електроніці.
Датчики iMEMS - пристрої, що інтегрують на одному кремнієвому кристалі датчик кутової швидкості та електроніку, що забезпечує формування і попередню обробку сигналу. Більше десяти років тому компанія Analog Devices приступила до виготовлення електро ¬ механічних пристроїв на кристалі кремнію за допомогою даної технології. Перші зразки повністю інтегрованих однокристальних датчиків прискорення (акселерометрів) iMEMS були випущені в 1991 році. Спочатку акселерометри iMEMS були розроблені спеціально для систем безпеки автомобілів, де вони застосовувалися для детектування зіткнень і активації подушок безпеки; сьогодні ж ці акселерометри застосовуються як інерційних датчиків в самих різних областях.
З певним відставанням розробки мікромеханічних гіроскопів і акселерометрів здійснюються в Росії. ЗАТ «ГІРООПТІКА» є одним з перших вітчизняних підприємств, які розробили та изготовившим мікромеханічні гіроскопи і акселерометри за технологією МЕМС, а в частині гіроскопів - єдиним підприємством. Розміри датчиків в одиниці міліметрів порівнянні з розмірами мікроелектронних компонентів. Датчики володіють підвищеною стійкістю і міцністю до впливу механічних ударів до 16000 g однократного дії та широкосмугового випадкової вібрації в діапазоні частот до 2000 Гц, при цьому займаючи нішу приладів середнього класу точності:
для гіроскопів - випадкова складова дрейфу нульового сигналу на рівні 5 град. / год при динамічному діапазоні до 360 град. / с з нелінійністю масштабного коефіцієнта не більше 0,5%;
для акселерометрів - випадкова складова дрейфу нульового сигналу на рівні 0,3 mg при динамічному діапазоні до 100g з нелінійністю масштабного коефіцієнта не більше 0,3%.
Тенденція зменшення розмірів чутливих елементів інерціальних систем дає можливість до побудови міні-БПЛА все більше набирають популярність сьогодні.
В даний час можна вказати наступних потенційних споживачів і області застосування мікромеханічних інерційних датчиків і систем:
автомобілебудування (активна підвіска, автоматичне керування, навігація, системи безпеки, протиугінні системи);
авіація (навігація і орієнтація малих, а також надмалих безпілотних літальних апаратів); морський і рі...
