P>
Проведено експериментальні роботи з нанесення оптичних покриттів на основі тугоплавких оксидів. Нанесення здійснювалося в лабораторних умовах на установці електронно-променевого випаровування (ВУ - 1А).
Експериментально проведені дослідження спектральних характеристик пропускання і віддзеркалення оптичних інтерференційних покриттів.
Методами атомно-силової мікроскопії вивчена морфологія одношарових і багатошарових покриттів. Розроблено програму в середовищі Microsoft Excel по розрахунку коефіцієнта відбиття, показника заломлення і оптичної товщини тонких плівок.
За результатами дипломної роботи є акт впровадження лабораторної роботи «Основи корпускулярно-фотонних і іонно-променевих технологій» та «Основи сучасних технологічних процесів» у навчальний процес кафедри оптики фізичного факультету.
електромагнітний хвиля плазмовий оптичний
Список використаних джерел
1 Особливості нанесення покриття методом електроннопроменевого випаровування Г.В. Пантелєєв, М.Г. Черенков, Б.В. Шафіркін, В.І. Ямпольський, В.Н. Єгоров//Оптико-механічна промисловість.- 1983. - № 9. - С. 30 - 32.
Синтез просвітлюючих покриттів методом прямого пошуку Г.Я. Колодний, Е.А. Левчук, Б.Б. Мєшков, П.П. Яковлєв//Квантова електроніка.- 1978.-Т.5, № 1. - С. 83-88.
Карпенко, Г. Д. Сучасні методи генерації осаждаемого речовини при нанесенні тонкоплівкових покриттів у вакуумі/Г.Д. Карпенко, В.Л. Рубінштейн.- Мінськ: БелНІІНТІ, 1990. - 36 с.
Фурман, Ш. А. Тонкошарові оптичні покриття/Ш.А. Фурман.-Л .: Машинобудування, 1977. - 264 с.
Борн, М. Основи оптики/М. Борн, Е. Вольф, пров. з англ. під ред. Г.П. Мотулевіч.- М .: Наука, 1970. - 850 с.
Крилова, Т.Н. Інтерференційні покриття/Т.Н. Крилова.- Л .: Машинобудування, 1973. - 224с.
Ріттер, Е. Плівкові діелектричні матеріали для оптичних застосувань/Е. Ріттер, М. Франкомбра, Р. Гофмана.- М .: Світ, 1978. - 60 с.
Кузнєцова, С.М. Довідник технолога-оптика./С.М. Кузнєцова, М.А. Окатова.- Л; Машинобудування. 1983. - 414 с.
Багатошарові інтерференційні покриття в квантовій електроніці/Г.Я. Колодний, Е.А. Левчук, Ю.Д. Порядин, П.П. Яковлєв//Електронна промисловість.- 1981. - № 5, 6. - С. 93 - 101.
Яковлєв, П.П. Проектування інтерференційних покриттів П.П. Яковлєв, Б.Б. Мєшков.- М .: Машинобудування, 1987 - 185 с.
Майссела, Л. Технологія тонких плівок: довідник/Л. Майссела, Р. Гленга.- М .: Сов. радіо, 1977. - 662 с.
Глудкін, О.П. Пристрої і методи фотометричного контролю в технології виробництва ІС/О.П. Глудкін, А.Є. Густов.- М .: Радіо і зв'язок, 1981. - 112 с.
13 Нікітін, М.М. Технологія та обладнання вакуумного напилення.- М .: Металургія, 1992. - 161 с.
14 Покриття оптичних деталей. Типи, основні параметри та методи контролю.- Введ. 1995.07.06.- М .: ЦНДІ «Комплекс», 1995. - 190 с.
Рогачов, А.В. Основи корпускулярно-фотонних і іонно-променевих технологій: практичний посібник./А.В. Рогачов, Н.Н. Федосенко, М.А. Ярмоленко.- Гомель: ГГУ ім. Ф. Скорини, 2012. - 13 c.
Додаток А
Результат розрахунку показника заломлення і оптичної товщини в середовищі Microsoft Excel
n1 (повітря) 1n3 (підкладки) 1,45n4 (повітря) 1T min60,89Оптіческая толщінаT max86,89?/4?/23?/4? (дл хвилі, нм) min449,98112,495224,99337,485? (дл волны,нм)max398,9799,7425199,485299,2275R10,154442585R20,050896658R30,033735943Tlaquo;raquo;min2,054181591Tlaquo;raquo;max2,931316118Tmin62,94418159Tmax89,82131612C1,426999507Корень(С)1,194570847n22,294848617
Реферат
Ключові слова: електронно-променеве випаровування, інтерференційні покриття, багатошарове покриття, одношарове покриття просвітлюючі покриття, спектральні характеристики покриттів, процес нанесення покриття, морфологія одношарових та багатошарових покрить
Об'єкт дослідження: фізика розповсюдження електромагнітних хвиль оптичного діапазону в діелектриках, інтерференція електромагнітних хвиль у шаруватих середовищах, методики нанесення вакуумно-плазмових покриттів, методи дослідження оптичних характеристик інтерференційних покриттів
Предмет дослідження: одношарові і багатошарові інтерференційні покриття
Методи дослідження: аналіз вивчення літературних джерел, аналіз структурних особливостей і фізико-механічних властивостей, отриманих електронно-променевим випаровуванням, атомн...
