і на електродах 1,5 - 2,5 кВ і струмі 100 - 200 мА.
Відкачування повітря з вакуумної камери і створення високого вакууму, відповідного тискам (1,33 - 0,66) х10-3 Па, виконують насосом 6, що не відключаючи насос 8.
Випаровування речовини відбувається під ковпаком після відкачування повітря. Попередньо випаровують зовнішній забруднений шар речовини при екранування підкладок заслінкою 3. Потім відводять заслінку, і випаровується речовина потрапляє на підкладку. Швидкість випаровування залежить від матеріалу испаряемого речовини і товщини покриття. Товщину покриття або пов'язані з нею коефіцієнти пропускання і віддзеркалення контролюють за допомогою фотометричного пристрою. Випарники для хрому можуть бути двох типів: стрічкові і дротові. Дротові випарники виготовляють з вольфрамової дроту. Товщина шару хрому повинна бути не більше 0,1 мм. Нанесення шарів хрому проводиться з помірною швидкістю, тому отримання шарів із заданим коефіцієнтом пропускання здійснюється за допомогою фотометричного пристрої (контроль за свідкові). p align="justify"> Контрольний свідок - це клиноподібна (для прояснення) або плоска (для светоделітель) пластина з с того ж скла що і деталь. Діаметр, як правило, 30 мм. Пластина встановлюється в ВУ і по ній відбувається фотометричний контроль: вимірюється товщина напилюваного покриття. Потім пластину витягують з ВУ і вставляють у Specord (спектрофотометр) і вимірюють відбиття або пропускання [14]. p align="justify"> Розгерметизація ковпака відбувається за допомогою натекателем при закритих клапанах 5, 11. Насос 6 вимикається, насос 8 працює при відкритому клапані 10 до повного охолодження насоса 6. p align="justify"> Контроль покриттів ведуть візуально, фото-та спектрометричного. Металеві шари перевіряють по контрольних зразках на зчеплення шару з підкладкою. p align="justify"> Переваги способу:
можливість отримання всіх видів покриття;
велика швидкість нанесення покриттів, що сприяє виготовленню однорідних за складом покриттів;
контроль характеристик плівок у процесі виготовлення.
Недоліки способу:
невисока механічна міцність;
недостатня вологостійкість;
мала хімічна стійкість покриттів [10].
. Перевірка якості нанесення покриття. p align="justify"> Контроль покриттів здійснюють не раніше ніж через добу після їх нанесення, так як покриття старіють і змінюють свої характеристики. Перед контролем всі деталі переглядають у відбитому або світлі, що проходить, звертаючи увагу на однорідність покриття за кольором, на наявність плям, крапок, подряпин і відслонень. p align="justify"> Спектральні характеристики відображають, светоделітельних і просвітлюючих покриттів контролюють на спектрофотометрах з насадками для різних областей спектру.
Для контролю...
