(підкладка) елементів колії схематично представлено на малюнку 1.3.
Робочі камери для напилення танталу і молібдену відрізняються тільки матеріалом катодів, напилення здійснюється послідовно в одному вакуумному циклі для виключення появи міжшарових дефектів.
На центральній вертикальної осі камери О-О розташовується центр симетрії магнетрона 1 з катодом (випарником) 2. На цій же осі розташована приводна шестерня 9, вращающая касету 10. Сам механізм обертання знаходиться за межами робочої камери і на схемі не показаний. Касета 10 виконана у вигляді півсфери і має три подложкодержателя 4 з опорами у вигляді роликів 7. При установці касети в робочу камеру 6, вона спирається трьома роликами 7 на кільцеву напрямну 5. Така конструкція забезпечує вільне обертання касети і одночасне планетарне переміщення по колу і обертання подложкодержателей 4 з підкладками 3 і 8. У кожному подложкодержателе закріплюється по п'ять прямокутних підкладок розміром 60 на 48 мм. Загальна кількість підкладок в касеті - 15 штук. Загальний вид касети і момент встановлення її в робочій камері представлені на малюнках 1.4 і 1.5.
Конструкція установки магнетронного напилення (малюнок 1.3) забезпечує обертання касети зі швидкістю 10 об / хв. При цьому подложкодержателі повертаються разом з касетою і одночасно обертаються разом з роликами кожен навколо своєї осі О 1-О 1 зі швидкістю 40 об / хв.
Повний цикл напилення ніобію в середньому 22,5 хв. При цьому касета зробить 225 оборотів, а кожен подложкодержатель додатково 900 оборотів.
Малюнок 1.3 - Схема робочої камери напилення (виконано в масштабі)
Малюнок 1.4 - Загальний вигляд касети
Малюнок 1.5 - Установка касети в робочій камері
Повний цикл напилення молібдену в середньому 67,5 хв. При цьому касета зробить 675 оборотів, а кожен подложкодержатель додатково 2700 оборотів.
При обертанні касети кожна точка підкладки 4 здійснює планетарне і синусоидальное рух по склепіння над випарником - катодом. Наприклад точка А робить рух по синусоїді А, а точка Б - по синусоїді Б. При цьому вид руху і кількість обертів забезпечують стабільність і повторюваність властивостей напиляемой плівки в будь-якій точці підкладки.
З урахуванням масштабу малюнка 1.3, розпорошується кільцева поверхню катода має розміри: внутрішній діаметр 70 мм, зовнішній - 110 мм. Мінімальна відстань до планетарно обертових пластин 90 мм, максимальне - 180 мм. Якщо вимірювати не по краю пластин, а по їх центрам, то: мінімальну відстань - 110 мм, максимальне - 160 мм. Середня відстань до центру пластин - 130 мм. Причому всі пластини перебувають в однакових умовах напилення.
Площа напиляемой півсфери (склепіння) можна визначити з її радіуса - 140 мм. На цю площу переходить весь Пропарений метал. Площа напилюваних пластин (50 мм * 60 мм * 15 шт.=45000 мм 2), це корисний витрата металу.
Конденсація газової фази атомів на поверхні осадження у вигляді твердої плівки
Процес отримання тонких плівок у вакуумі за допомогою фізичних методів заснований на утворенні потоку атомних частинок (окремих атомів, молекул або іонів) з напилюваних матеріалів і подальшої їх конденсації на поверхню підкладки.
<...
