датчик зі шкалою 0-10 Bar і вихідним сигналом 4-20 mA подати тиск 5 Bar, плавно збільшуючи його з 0 значення те встановитися, припустимо, вихідний струм 11,5 mA. Якщо ж, на той же датчик подати тиск 5 Bar, але тепер плавно зменшуючи з 10 Bar, то вихідний сигнал буде вже 12,5 mA. Цей ефект пов'язаний з пружними властивостями металевої мембрани. p align="justify"> Робота ємнісних сенсорів датчиків тиску заснована на залежності ємності конденсатора від відстані між його обкладками. Чим менше відстань, тим більше місткість. Роль однієї обкладки (рухомого) виконує металізація внутрішньої сторони мембрани, роль другої обкладки (нерухомої) - металізація підстави сенсора. Рухома мембрана виготовляється з надчистої кераміки, кремнію або пружного металу. При зміні тиску процесу (робочого середовища) мембрана з обкладкою деформується, відстань між нею і підставою сенсора змінюється і відбувається зміна ємності. p align="justify"> Перевагою ємнісного сенсора з надчистої кераміки є простота конструкції, висока точність і тимчасова стабільність показань, можливість вимірювати низькі тиску і слабкий вакуум завдяки відсутності заповнює масла. Керамічна мембрана має корозійну стійкість до хімічно-агресивних середовищ і стійкістю до стирання. Крім того у ємнісних керамічних сенсорів відсутній ефект прямого і зворотного ходу. Вони у меншій мірі схильні до впливу гідравлічних ударів, так як мембрана в цьому випадку просто притискається до основи сенсора. p align="justify"> До недоліків ємнісних сенсорів можна віднести нелінійну залежність ємності від прикладеного тиску, але ця нелінійність компенсується електронікою датчика. Так, наприклад, до керамічних ємнісним сенсорам датчиків тиску Cerabar фірми Endress + Hauser додається спеціальний паспорт, в якому виробник вказує настроювальні коефіцієнти. При заміні сенсора ці коефіцієнти повинні бути занесені у внутрішню незалежну пам'ять датчика за допомогою HART-комунікатора. В іншому випадку похибка вимірювання тиску істотно зростає, зростає і нелінійність вимірювання. p align="justify"> Досить широко в даний час поширені датчики з чутливими елементами на основі монокристалічного кремнію. Незважаючи на схожу конструкцію з приладами на основі КНС структур вони мають на порядок більшу тимчасову і температурну стабільності, більш стійкі до впливу ударних і знакозмінних навантажень. Ефект прямого - зворотного ходу також відсутня, що пояснюється використанням ідеально-пружного матеріалу. p align="justify"> Даний тип сенсора (інтегральний перетворювач тиску), являє собою мембрану з монокристалічного кремнію з розміщеними на ній методом дифузії пьезорезісторамі. Пьезорезістори з'єднані в міст Уїнстона. Кристал ІПД прикріплюється до діелектричних основи легкоплавким склом або методом анодного зрощування. Для вимірювання тиску чистих неагресивних середовищ застосовуються, так звані, Low cost - рішення. Чутливі елементи в датчиках даного типу або не мають захисту зовсім, або захищені лише шаром силік...
