й І., Мерей Дж. "Фізичні основи микротехнологии", Москва, Світ, 1985 г.
. Іванівський Г.Ф., Петров.В. А "Плазмові процеси".
. Попов Б.М., Горін С.П. "Фізичні основи Еліон обробки".
. Фролов П. Т, Мінайчев К. С "Довідник з вакуумної техніки".
. Розанов "Вакуумна техніка".
. Соломаха В.Л., Томілін Р.І., Цитович Б.В., Юдовіч Л.Г. "Довідник конструктора-приладобудівників", Мінськ, Вишейшая школа, 1988 г.
. "Конструкційні матеріали. Довідник "Під загальною редакцією доктора технічних наук Б.М. Арзамасова. Москва, Машинобудування, 1990.
. Ануров В.І. "Довідник конструктора-машинобудівника", в 3 томах, Москва, Машинобудування, 1982 г.
. Агаронянц Р.А. "Електромагнітні елементи технічної кібернетики", Москва, Наука, 1972.
. Бордусов. С.В. "Конспект лекцій з ФОЕТ".
