інії з об'ємним резонатором I (рис. 2.2), з огляду на те, що повний опір об'ємного резонатора багато менше повного опору коаксіального мікрозонда:. Про це свідчить зниження чутливості і підвищення добротності РІП ЦР КІА при варіації (рис. 2.6).
а)
б)
Рис. 2.9. Залежність а); б) від величини (для параметрів моделі на рис. 2.3:;;;;, при мм)
Дані результати дозволяють здійснювати усвідомлений вибір геометрії резонаторного вимірювального перетворювача з коаксіальної апертурою.
2.5 Характеристики перетворення для РІП ЦР КІА
Доцільно, на підставі отриманих вище оптимізованих геометричних розмірів РІП ЦР КІА, обчислити характеристики перетворення (інформаційні характеристики для подальшої комп'ютерної обробки) розглянутого вище типу РВП при зміні параметрів досліджуваного зразка від 2,5 до 12 і від 0,001 до 0,1.
Геометричні розміри моделі були обрані такими (рис. 2.2):; ; ; ; і, при мм. Провідність стінок резонатора прийнята рівною См / м. Розрахунок проводився в режимі власних коливань.
Графіки залежності добротності, частоти та їх зміни (градуювальні характеристики), щодо добротності і частоти РІП ЦР КІА, навантаженого на вільний простір, від електрофізичних параметрів зразка, наведено на рис. 2.10, 2.11, відповідно.
Як видно з рис. 2.10, графіки РІП ЦР КІА лінійни у ??всьому діапазоні своєї зміни.
немонотонності характер кривих (рис. 2.10) у всьому діапазоні зміни обумовлюється складним апертурним характером взаємодії досліджуваного зразка з резонаторних перетворювачем. При малих змінах відносної діелектричної проникності, залежності можуть бути апроксимовані лінійною функцією.
З графіків (рис. 2.10) видно, що апертурний характер взаємодії зразка з РІП не можна інтерпретувати тільки зміною зосередженої ємністю на торці коаксіального хвилеводу.
а)
б)
Рис. 2.10. а) Залежність від електрофізичних параметрів зразка; б) характеристики перетворення РІП ЦР КІА (для параметрів моделі на рис. 2.3:;;;;;, при мм)
а)
б)
Рис. 2.11. а) Залежність від електрофізичних параметрів зразка; б) характеристики перетворення РІП ЦР КІА (для параметрів моделі на рис. 2.3:;;;;;, при мм)
Графіки (рис. 2.10, 2.11) дозволяють зіставити інформаційні сигнали РІП ЦР КІА параметрами досліджуваного зразка. При необхідності, градуювальні криві можуть бути побудовані для певного напівпровідникового матеріалу з конкретної ступенем легування, рухливістю носіїв заряду і пр.
Разом з тим, залежності на рис. 2.10, 2.11 не відображають вплив неоднорідностей в обсязі зразка на інформаційні сигнали РВП.
2.6 Мікродіагностіческіе аспекти застосування РІП ЦР КІА
Для дослідження мікродіагностіческіх особливостей РІП запропонованої конструкції, потрібно провести додаткове чисельної дослідження залежності інформаційних сигналів від величини неоднорідності в зразку. Вплив неоднорідності також дозволить судити про ступінь локалізації СВЧ поля на торці щупа вимірювальної апертури.
Схема розташування неоднорідності в зразку приведена на рис. 2.12.
Рис. 2.12. Структура неоднорідного зразка
На рис. 2.12 представлений зразок з електрофізичнимипараметрами:; і неоднорідністю (електрофізичні параметри:;). Неоднорідність у зразку має вигляд циліндра, радіусом і висот...
