інгема (1948) з вимірювання фонових струмів іонізаційного манометра і Альперта (1952) щодо створення іонізаційного манометра з осьовим колектором розширили діапазон робочих тисків вакуумної техніки ще на три-чотири порядки в область надвисокого вакууму. p align="justify"> Для отримання надвисокого вакууму винаходять нові насоси: турбомолекулярний (Беккер, 1958), магніторозрядними (Джепсен і Холанд, 1959); удосконалюються паромасляні і кріосорбціонние насоси.
Завдання
Спроектувати і розрахувати вакуумну систему для відпалу деталей в умовах вакууму середнього тиску 10 -1 Па. Число сполук вибирається автором. Камера виготовляється з нержавіючої сталі. Нагрівальний елемент з кормових смуг типу В«білячого колесаВ». Передбачити високотемпературні токовводи. Обгрунтувати застосування всіх елементів. Передбачити обхідний шлях відкачування.
Графічний матеріал: схема установки, схема конструкції токовводов, розподіл тиску у вакуумній системі.
1. Розрахунок
Виходячи із завдання складемо принципову схему системи, що забезпечує отримання необхідного тиску в робочій камері.
В
Рис. 1: 1 - камера технологічного відпалу; 2 - насос отримання середнього та низького вакууму. 3 - пастка; 4,7 - клапани; 5 - електричний введення (рис. 2), призначений для живлення нагрівального елемента типу В«білячого колесаВ» з Mo-вих смуг (рис 3), яка розташована всередині камери відпалу; 6 - манометри
Таким чином, у нас вийшла вакуумна система з 1 насосом, отже, обхідний шлях відкачування для нашого випадку не потрібний.
В
Рис. 2
В
Рис 3
2. Розрахунок стаціонарного газового потоку
Стаціонарний газовий потік, відкачуваний насосом, під час роботи вакуумної установки має кілька складових:
Q = Q прон + Q д + Q н + Q < i align = "justify"> т ,
де Q прон - проникність матеріалів; Q д - дифузійне газовиділення матеріалу; Q н - натікання через оболонку вакуумної камери; Q т - стаціонарне технологічне газовиділення.
Всі складові газового потоку або взагалі не залежать...
