від часу роботи вакуумної установки, або зміна газового потоку за час її роботи не перевищує точності виконуваних розрахунків. Розглянемо докладніше кожну із зазначених складових. p align="justify"> Кількісна оцінка процесів стаціонарної проникності газу через стінки вакуумної системи, виготовлені з різних матеріалів або мають різну товщину, може бути зроблена з урахуванням констант проникності До Оi і Q pi за формулою:
В
де K oi і Q i - відповідно константа проникності і теплота активації для матеріалу i -й стінки вакуумної системи; F i і h i - відповідно площа і половина товщини i -й стінки; p 1 і р 2 - тиску з внутрішньої і зовнішньої сторін стінок; n - число атомів в молекулі газу, що проникає через стінку; Т - абсолютна температура стінки; R = 8,31 кДж/(кмоль? К); N - число стінок вакуумної камери, арматури та трубопроводів, виготовлених з різного матеріалу або мають різну товщину.
Для нашого випадку з табличних даними беремо Q i = 80,4? 10 3 кДж/кмоль , n = 2 , p 1 = 10 -1 Па, p 2 = 10 5 < span align = "justify"> Па, h i = 0,15 м , T = 973 К, K oi = 1,88? 10 -4
