осхем пред'являються різні вимоги: достатня механічна міцність, що дозволяє витримувати навантаження при збірці та експлуатації; мінімальні габарити, для забезпечення компактності збірки; конструкція корпусу повинна дозволяти легко і надійно виконувати електричні з'єднання всередині корпусу; забезпечувати мінімальні паразитні параметри, надійну ізоляцію елементів, герметичність, мінімальне теплове опір між мікросхемою і навколишнім середовищем; захищати мікросхему від впливів електромагнітного поля, світла; мати мінімальну вартість.
Всі корпуси можна поділити на такі види: металоскляний, металокерамічні, металлополімерниє, пластмасові, стеклокерамические та ін
Найбільш надійним методом герметизації для даного використання або зберігання мікросхем є корпусні вакуум-щільна герметизація. Залежно від матеріалу, який застосовується для виготовлення корпусів і герметизації їх зовнішніх висновків, вакуум-щільні корпусу поділяються на скляні, керамічні, металоскляний, металокерамічні. Основними деталями вакуум-щільних корпусів є: власне корпус, кришка, ізолятор, висновки. На рис. 3.1 показана конструкція металоскляного корпусу: 1-кришка, 2 - підстава корпусу, 3 - висновок, 4 - скляна бусинка, 5 - напівпровідниковий кристал.
В
рис. 3.1
металоскляний корпусу володіють мінімальним тепловим опором між мікросхемою і навколишнім середовищем. Вибір матеріалу для металоскляних корпусів, визначає якісний спай між матеріалами висновків і скляних ізоляторів висновків від корпусів. p> Для герметизації та ізоляції зовнішніх висновків застосовуються в основному тверді скла з коефіцієнтом теплового розширення О± = (45 ... 55) * 10 -7 , 1/ 0 З Найчастіше в Як матеріали корпусу використовують ковар (О± = 47 * 10 -7 , 1/ 0 С, Fe - 54%, Ni - 29%, Co - 17%, має гарну теплопровідність) і молібден (О± = 55 * 10 -7 , 1/ 0 С). Ці матеріали утворюють хороший спай з твердими стеклами. br/>В
В
рис. 3.2
Конструкції металоскляних корпусів поділяються на:
В· металоскляний квадратний корпус (рис. 3.2а) складається з металевого підстави 1 з упаяними ізольованими висновками 4, металевою кришкою 2 і ізолятора 3. Висновки з підставою герметизують металоскляний спаєм. При остаточному монтажі загальну герметизацію корпусу проводять електронно-променевої зварюванням. Допустима розсіює потужність 750 мВт;
В· металоскляний круглий корпус (рис 3.2б). Основні переваги: ​​висока механічна міцність і надійність. Недоліки: мала щільність упаковки. Складається з металевого фланця 1, кришки 2, ізолятора 3, висновків 4. Фланець має ключ, розташований проти виведення. Висновки з основою герметизують металоскляний спаєм. При остаточному монтажі загальну герметизацію проводять конденсаторної зварюванням (Різновид контактного зварювання). Допустима розсіює потужність 60мВт. p> Зварювання може здійснюватися у вакуумі або в середовищі інертного газу під тиском кілька перевищує атмосферне.
металоскляний корпусу забезпечують тривалу роботу в умовах підвищеної відносної вологості (До 98%) і в діапазоні температур -60 ... +125 0 С, тому вони найбільш рекомендовані для герметизації гібридних мікросхем.
Підкладка гібридних інтегральних мікросхем є діелектричним і механічним підставою для розташування плівкових елементів і компонентів, а також служить для відводу тепла. Матеріал підкладки повинен володіти:
В· високою питомою електричним опором, никой діелектричної проникністю;
В· високої механічною міцністю в малих товщинах;
В· високим коефіцієнтом теплопровідності для ефективної передачі теплоти від тепловиділяючих елементів і компонентів корпусу;
В· високої фізичної та хімічною стійкістю до дії високої температури;
В· стійкістю до впливу хімічних реактивів;
В· здатність до хорошою механічній обробці.
Для виготовлення підкладок в основному використовують: скло, кераміку, ситалл. Скло та ситалл легко ріжеться алмазним різцем. Різка керамічних підкладок на виробництві не бажана, тому їх відразу виготовляють потрібних розмірів.
Найбільш перспективними для гібридних великих інтегральних схем і микросборок є металеві підкладки, поверхня яких покривається відносно тонким (40 - 60 мкм) шаром діелектрика. Для цієї мети використовують алюмінієві платини з анодованою поверхнею, сталеві пластини, покриті склом або поліамідним лаком. p> Резистори є самими поширеними елементами гібридних інтегральних мікросхем. Плівкові резистори формуються на діелектричній підкладці у вигляді резистивних смуг різної конфігурації, що закінчуються низькоомними контактними переходами і висновками. У гібридних інтегральних мікросхемах використовуються тонкоплівкові (d2 мкм) і товстоплівкові (d2мкм) резистори різної конфігурації з простою прямолінійною і складною формою. p> Найбільш поширеною є конструкція ...