олів і опиняються в пастці. Траєкторії руху електронів в пастці близькі до циклоїдним. Ефективність іонізації і щільність плазми в цій області значно збільшується. Це призводить до підвищення концентрації іонів біля поверхні мішені, збільшення інтенсивності іонного бомбардування мішені і до значного зростання швидкості розпилення мішені. p align="justify"> Від яких параметрів залежить коефіцієнт розпилення в теорії Зигмунда?
Згідно теорії Зигмунда для аморфних і полікристалічних матеріалів для низьких енергій іонів до 1 кеВ коефіцієнт розпилення визначається наступним виразом:
, (1)
де М і і М а - атомні маси іонів і атомів мішені, г/моль;
Е і - енергія падаючих іонів, еВ;
Е суб - енергія сублімації атомів мішені, еВ;
a - безрозмірний параметр, що залежить від М і / М а .
Які допущення робляться при побудові моделі кільцевого випарника?
При побудові моделі швидкості осадження плівки шляхом розпилення матеріалу з кільцевого випарника зробимо такі припущення:
розпорошені атоми розподіляються в просторі за законом косинуса;
розпорошені атоми не стикалися один з одним і з атомами робочого газу;
розпорошені атоми осідають в точці зіткнення з підкладкою.
В
Рис. 2. Геометрична схема моделі мішень-підкладка. br/>
3. Розрахунки
Згідно варіанту розпорошується матеріал - титан. У таблиці 3.1 наведені додаткові характеристики цього матеріалу, необхідні для розрахунку кільцевого випарника. br/>
Таблиця 2. Характеристики матеріалу, необхідні для розрахунку. p align="justify"> МатеріалАтомний номер ZАтомная маса М, г/мольЕнергія сублімації Ес, еВПлотность r , г/см 3 Cu2963.53.568.96
Для розрахунку також необхідні характеристики робочого газу (аргону):
- Атомний номер іона = 18;
Атомна маса іона = 40 г/моль;
Енергія іона = 350 еВ.
Визначаю значення безрозмірного коефіцієнта. Для цього знаходжу чисельне значення відносини атомної маси матеріалу мішені до атомної масі робочого газу:
Ма/Мu = 1.59, де Мі і Ма - атомні маси іонів і атомів мішені, г/моль.
В
