gn="justify"> Рис 3. Залежність параметра a від ставлення М а /М і
За графіком на рис. 3 знаходимо = 0.33, потім знаходимо коефіцієнт розпилення з наступного виразу:
В
Щільність іонного струму обчислюється за формулою:
,
Де - щільність іонного струму в перерізі, перпендикулярному напрямку падіння іонів, А/см2;
- струм розряду, дорівнює 6А (за умовою);
- площа кільця розпилення. Вона визначається наступним виразом:
= 19.633см2.
Тут - радіус розпилення (за умовою 5 см), - ширина кільця розпилення (за умовою 0.5 см).
Таким чином, щільність іонного струму буде дорівнює: jі = 0.337 А/см2
Визначимо швидкість розпилення за формулою:
3.065 Г— 10-5 см/с,
де е - заряд електрона (1.6х10 -19 Кл); А - число Авогадро (6.023х10 23 атом/моль ).
За допомогою програми MathCAD побудуємо контурний графік розподілу товщини напиляемой плівки від радіуса пластини і відстані до випарника. Контурний графік будемо будувати для радіуса пластини трохи більше заданого (r змінюється в діапазоні від мінус 5 до плюс 5 см) і для відстані між пластиною і випарником Н від 1 до 16 см.
Спочатку задамо час випаровування рівним 2500 секунд:
В
Рис. 4. Контурний графік розподілу товщини напиляемой плівки від радіуса пластини і відстані до випарника при = 2500С. br/>
З графіка на цьому малюнку видно, що найбільш рівномірну плівку напилюваного матеріалу на пластині радіусом 50 мм можна отримати при відстані Н, лежачому в межах від 3 до 12.5 см.
При цьому товщина плівки буде приймати значення від 0.1 до 0.4 мкм, а потрібно отримати плівку товщиною 0.3 мкм. Тому слід зменшити час напилення. p> Методом підбору визначимо, що при часі напилення = 2000С можна отримати плівку заданої товщини.
В
Рис. 5. Контурний графік розподілу товщини напиляемой плівки від радіуса пластини і відстані до випарника при = 2000С. br/>
Виберемо відстань Н рівне 5.5 см. Для нього побудуємо двовимірний графік залежності товщини напиляемой плівки h від відстані від центру пластини r.
В
Рис.6. Графік залежності товщини напиляемой плівки h від відстані від центру пластини r при Н = 5.5 см.
На графіку визначимо точки, відповідні максимальної та мінімальної товщині плівки в межах пластини (-5 ... 5). Максимальне значення досягається при r рівному 3 см, а мінімальне - при r рівному 5 см.
Напишемо ділянку програми, що виконує обч...
