ових і розвиток існуючих методів контролю характеристик МФЧ на всіх стадіях виготовлення. Такий підхід дозволить розробляти і створювати сучасні аналітичні прилади і системи на мікрочіповой платформі. p align="justify"> Стандартизація розмірів і форм, матеріалів і методів їх обробки, методик контролю і виміру основних характеристик МФЧ дозволить створити єдину базу для розробників аналітичних приладів на мікрочіповой платформі. Крім того, отримані результати сприятимуть спрощенню процесу створення нових МФЧ, а інженерам дозволить просунутися в розробці нових топологій і конструкцій сучасних приладів. p align="justify"> Метою даного дослідження є обгрунтування, вибір та вивчення основних характеристик мікрофлюідних чіпа, що визначають його аналітичні властивості. p align="justify"> У роботі використовувалися прототипи МФЧ отримані:
з поліметилметакрилату - методом лазерної абляції з подальшою герметизацією каналів способом термічного зв'язування;
зі скляних матеріалів - методами фотолітографії, кислотного травлення і герметизацією мікроканалах при високій температурі.
1. Літературний огляд
Успішному вирішенню низки фундаментальних і прикладних завдань сприяє застосування мікрофлюідних пристроїв (БФП). У свою чергу серійний випуск пристроїв подібного типу дозволить істотно поліпшити якість досліджень та діагностики в галузі сучасної біотехнології, медицини, біології, аналітичної хімії. Однак серійне виробництво таких систем все ще перебуває в стані досліджень і розробок. Одним з основних факторів, що уповільнюють організацію серійного випуску пристроїв, є проблема контролю характеристик МФУ і метрологічного забезпечення їх вимірювань [1]. Виконання окремих функцій у МФУ залежить від наявності різноманітних вбудованих елементів: механічних, оптичних, електричних, хімічних та інших. Через одночасної інтеграції в єдиній системі пристроїв різномасштабного характеру складність метрологічних вимірювань підвищується. Таку закономірність можна спостерігати, наприклад, за наявності в МФУ, заснованому на аналізі із застосуванням масиву консолей (розміри лежать в нм-діапазоні), рідинного каналу, довжина якого досягає декількох см, а ширина і глибина - кілька десятків мкм, в той час як загальний розмір чіпа складає декілька см 2 . У цьому випадку потрібно провести вимірювання в діапазоні як мінімум 4-х порядків. Разом з тим очевидним є той факт, що ніяким інструментом неможливо досягти прийнятної точності в такому широкому діапазоні [2].
Метрологія, призначена для мікроаналітичних систем, що включають і мікрофлюідних пристрої, потребує розвитку. Це дозволить забезпечити необхідну якість компонентів і елементів пристроїв, а також дасть можливість вибору необхідних режимів для технологічних процесів, виготовлення та формування як мікро-, так ...
