і нанорозмірних структур із заданими властивостями. p align="justify"> Метрологію прийнято вважати основною дисципліною, що бере участь при створенні промислового виробництва елементів. Так з її допомогою здійснюється управління технологічними процесами на підставі виконаних вимірів окремих конкретних компонентів або певних характеристик поточного процесу. Після цього проводиться співвідношення наявних метрологічних параметрів з отриманими розмірами структур, включаючи їх можливі допуски. Зі зменшенням розмірів, що піддаються контролю, до мікро-і нанометрового діапазону сама метрологія стає більш складною. Мікро-електромеханічні системи (МЕМС) з точки зору метрологічного забезпечення найбільш схожі з мікрофлюідних пристроями. Застосування в МЕМС скла, полімерів, кераміки, кварцу, різних полімерних і металевих плівок відрізняє їх від продукції напівпровідникової промисловості. За рахунок цього стає можливим створення керованих функціональних мікросистем. У МЕМС можуть входити різні компоненти, в тому числі деталі мікроелектронної техніки, а також мікросистеми, що містять рухливі елементи і пристрої. Завдяки механічним і йшли частинам, наявними в МЕМС, під час вимірювань система стають особливо чутливими до деформації. Це обумовлює необхідність застосування методів, які здатні надавати мінімальний вплив на елементи. Ряд завдань вимірювання, що перебувають у сфері нанотехнологій, пов'язаний з поверхнею [3]. Це стосується не тільки розмірних і геометричних, але і фізико-хімічних властивостей структур. p align="justify"> Складнощі при розробці єдиних підходів метрологічного забезпечення вимірювань багатокомпонентних пристроїв найбільш яскраво проявляються в метрології мікрофлюідних пристроїв. Наприклад, окремі види МЕМС можуть виступати в якості компонентів мікрофлюідних інтегрованої системи (МФВС) або так званої В«лабораторії на чіпіВ». Крім іншого, такі полімерні матеріали як полікарбонат (ПК), поліметилметакрилат (ПММА) і полідиметилсилоксан (ПДМС) вважаються перспективними для промислового використання. На сьогоднішній день до них відносяться також матеріали, використовувані в області В«паперовоїВ» мікрофлюідікі. Все це ще більше ускладнює метрологічне забезпечення вимірювань МФУ [4]. p align="justify"> Серед важливих характеристик МФУ, які необхідно вимірювати і контролювати, можна виділити наступні:
Гј геометричні та розмірні, що включають сам пристрій, а також його елементи і складові частини;
Гј електричні і все, що з ними пов'язано - наявність провідності, опору металізованих доріжок та інших компонентів;
Гј функціональні, до яких відносяться механічні, оптичні, хімічні характеристики (останні можуть включати в себе реагенти або наповнення реакційної камери) і т.д.
Іноді деякі з вищенаведених характеристик можуть бути пов'я...
