збільшень, одержуваті діфракційні картіні від об'єктів, досліджуваті об'єкти при їхньому нахілі ї обертанні [1]. p align="justify"> Мета роботи Полягає у вівченні характеристик І Порядку роботи просвітлюючого електронного мікроскопу та дослідженні фазового складу металевих плівок в діфракційному та мікроструктурніх характеристик металевих зразків у світлопольному режимах роботи мікроскопа.
1. ПРИНЦИП Дії ТА КОНСТРУКЦІЯ ПРОСВІТЛЮЮЧОГО Електрон МІКРОСКОПУ
1.1 Принцип Дії ПЕМ
Історично дерло БУВ виготовленя просвітлюючій електронний мікроскоп (ПЕМ), у якому Електрон, після проходження через об'єкт, попадають на електронну лінзу, что формує збільшене зображення об'єкта. Оптичні схема ПЕМ Цілком еквівалентна відповідній схемі оптичного мікроскопа, у якому світловій промінь заміняється електронним Променя, а оптичні лінзі чі системи Лінз заміняються електронними лінзамі чг системами Електрон Лінз. Перевага ПЕМ є велика Роздільна здатність. Основний недолік зв'язаний з тим, что об'єкт Дослідження повинною буті Дуже тонким (звичайна тонше, чем 0.1 мкм). Крім того, у ПЕМ Використовують Електрон Великої ЕНЕРГІЇ. У залежності від досліджуваного матеріалу Електрон пріскорюють до кінетічної ЕНЕРГІЇ в діапазоні від декількох кеВ до декількох МеВ. Це приводити до нагрівання зразки аж до йо руйнування [2]. p align="justify"> У мікроскопі є електронна гармата, ряд конденсорних Лінз, об'єктивна лінза и проекційна система, что відповідає окуляра, альо проектує дійсне зображення на люмінесцентній екран чг фотографічну пластинку (рис. 1.1). Джерелом електронів звичайна служити катод, что нагрівається, з вольфраму чг гексаборид лантану. Катод електрично ізольованій від Іншої Частини приладнати, и Електрон пріскорюються сильним ЕЛЕКТРИЧНА полем. Для создания такого поля катод підтрімують под потенціалом порядку -100 000 В Щодо других електродів, что фокусують Електрон у вузький пучок. Оскількі Електрон сильно розсіюються Речовини, у колоні мікроскопа, де рухаються Електрон, коріться буті вакуум [3]. br/>В
Малюнок 1.1 - Хід променів у трьохлінзовому Електрон мікроскопі [4]: ​​
- електронна гармата, 2 - анод, 3 - конденсорних блок; 4-освітлювальна діафрагма, 5 - зразок; 6 - об'єктивна лінза; - Апертурний діафрагма, задній фокальній площинах об'єктивної лінзі; 8 - площинах Першого проміжного зображення, площинах об'єкта для проміжної лінзі (проміжна діафрагма); 9 - проміжна лінза; 10 - фокальні площини проміжної лінзі; 11 - площинах іншого проміжного зображення, проекційна діафрагма; 12 - проекційна лінза, 13 - фокальні площини проектівен ; 14 - кінцеве зображення
Електронне зображення формується ЕЛЕКТРИЧНА и магнітними полями. Магнітне поле, створюване витками котушки, по якій проходитиме струм, Діє як Збиральна лінза, Фокусна відстань Якої можна з...
