мінюваті, змінюючі струм. Оскількі оптичні сила Такої лінзі, тоб здатність фокусуваті Електрон, поклади від напруженості магнітного поля Поблизу осі, для ее Збільшення бажано сконцентруваті магнітне поле в мінімально можливий обсязі. Практично це досягається тим, что котушкі почти Цілком закривають магнітною В«бронеюВ» Зі СПЕЦІАЛЬНОГО нікель-кобальтового сплаву, залішаючі позбав вузький зазор у ее внутрішній частіні. Створюване в такий способ магнітне поле может буті в 10-100 тис.. раз більш сильним, чім магнітне поле Землі на земній поверхні [5].
Ряд конденсорних Лінз фокусує електронний пучок на зразок. Звичайний перша з них створює НЕ збільшене зображення джерела електронів, а остання Контролює розмір освітлюваної ділянки на зразки. Діафрагмою Останньоі конденсорної лінзі візначається ширина пучка в площіні об'єкта. Зразок містіться в магнітному полі об'єктивної лінзі з великою оптичні силою - найважлівішої лінзі ПЕМ, что візначається граничний можливий Дозвіл приладнав. Об'єктивна лінза Дає збільшене зображення об'єкта (звичайна Зі збільшенням порядку 100); Додаткове Збільшення, внесеними проміжнімі и проекційнімі лінзамі, лежить у межах величин від Трохи меншої 10 до Трохи більшої 1000. Таким чином, Збільшення, Яку можна здобудуть у СУЧАСНИХ ПЕМ, складає від 1000 до ~ 1 000 000. Досліджуваній об'єкт звичайна поміщають на Дуже дрібну сітку, вкладений в СПЕЦІАЛЬНОГО Тримач. Тримач можна механічнім чг ЕЛЕКТРИЧНА способом плавно переміщаті вниз, праворуч и ліворуч. br/>
1.2 Конструкція ПЕМ
Розглянемо Вузли ПЕМ, Який наведено на малюнку 1.2. На масівній станіні, яка потрібна для Зменшення впліву зовнішніх вібрацій, монтується колона. Для создания пучка електронів вікорістовується електронна гармата. Управление зразки здійснюється за помощью Тримач зразків. За помощью про єктівного блоку формується зображення, Яку фіксується системою реєстрації. Налаштування зображення проводять у камері спостереження. Для Керування роботом приладнав Використовують пульти, Які розміщені праворуч та ліворуч від колони, або комп ютер.
В
Малюнок 1.2 - Основні Вузли електронного мікроскопу [6]
Колона ПЕМ Складається з освітлювальної системи, системи Формування зображення та камера спостереження. Коротко розглянемо Будова та принцип Дії шкірного з наведення блоків. p align="justify"> Освітлювальна система електронного мікроскопу Складається з джерела вільніх Прискорення електронів и конденсора з двох або однієї Лінз [5]. p align="justify"> Основною деталлю мікроскопа є електронна гармата, яка Дає Прискорення пучок електронів Великої ЕНЕРГІЇ. Зовнішній вигляд (а) та конструкція (б) термоелектрічної Електронної Гарматій зображені на малюнку 1.3. У більшості пріладів як катод Використовують V-подібний катод з вольфрамового дроту діаметром ...
