коефіцієнта форми - залежить від похибок геометричних розмірів:
.
- похибка відтворення величини плівки - в умовах серійного виробництва її значення не перевищує 10%;
- температурна похибка, що визначається за формулою:
- похибка, обумовлена ??старінням плівки. Зазвичай для ГІС вона не перевищує 3%.
- похибка перехідних опорів контактів, зазвичай складає 1-2%.
Допустима похибка коефіцієнта форми:
Визначаємо конструкцію резисторів за значенням коефіцієнта форми КФ:
Коефіцієнти форми для всіх резисторів представлені в таблиці 1:
Таблиця 1 - Коефіцієнти форми резисторів
РезісторСопротівленіе, ОмКоеффіціент форми, R14700047R256005.6R32200.22R42200022R54700047R61200.12R730003
Всі резистори будуть виготовлені одним методом - фотолітографічним. Визначаємо технологічні обмеження для методу.
Точність виготовлення лінійних розмірів і відстаней між ними:
Мінімально допустимі розміри резистора:
Мінімально допустима відстань між плівковими елементами:
Максимально допустиме співвідношення розмірів:
Перекриття для поєднання плівкових елементів:
. Проводимо розрахунок для резисторів з коефіцієнтом форми, це будуть резистори - R2, R4, R7 (резистори прямокутної форми).
Знаходимо ширину резистора, що вибирається з трьох значень:
техн - мінімальна ширина резистора, обумовлена ??можливостями технологічного процесса.точн - ширина резистора, обумовлена ??точністю виготовлення:
Р - мінімальна ширина резистора, при якій забезпечується задана потужність.
За ширину резистора приймають найближче до bрасч більше значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу.
Всі розраховані значення ширини резисторів з:
Таблиця 2 - Значення ширини резисторів з
Резісторbточн, ммbР, ммbрасч, ммR20.1160.2110.2R40.1470.1850.2R70.1870.50.5
Далі знаходимо розрахункову довжину резистора. За довжину резистора приймають найближче до lрасч більше значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу
Визначаємо повну довжину резистора з урахуванням перекриття контактних майданчиків:
Всі розраховані значення довжини резисторів з представлені в таблиці 3:
Таблиця 3 - Значення довжини резисторів
Резісторlрасч, ммl, ммlполн, ммR21.10.11.3R44.40.14.6R71.50.11.7
Розраховуємо площу резистора:
Отримані результати представлені в таблиці 4.
Таблиця 4 - Площа резисторів
Резісторlполн, ммbрасч, ММS, мм2R21.30.20.26R44.60.20.92R71.70.50.85
2. Проводимо розрахунок для резисторів з коефіцієнтом форми, це резистори - R3, R6 (резистори прямокутної форми, у яких довжина менше ширини).
Спочатку визначаємо довжину резистора, а потім ширину.
Розрахункове значення довжини резистора вибирають з умови:
- мінімальна довжина резистора, обумовлена ??роздільною здатністю обраного методу формування конфігурації.
За довжину резистора приймають найближче до lрасч більше значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу.
Розрахункову ширину резистора знаходимо по:
Повну ширину резистора з урахуванням перекриття контактних майданчиків і площа резистора знаходимо за формулами:
Всі отримані значення представлені в таблиці 5:
Таблиця 5 - Розраховані значення резисторів з
Резісторlточн, ммlР, ммl, ммbрасч, ммbполн, ММS, мм2R30.1710.2350.20.910.40.36R60.1570.30.32.50.51.25
3. Проводимо розрахунок для резисторів з коефіцієнтом форми, це резистори - R1, R5 (резистори складної форми, типу меандр).
Знаходимо ширину резистора R1 типу «меандр» за формулами:
З урахуванням округлення
Довжина середньої лінії меандру знаходиться за формулою:
Задаємося відстанню між сусідніми ланками меандру. Для методу фотолітографії. Нехай. Крок однієї ланки знаходиться за формулою:
Знаходимо оптимальне число ланок меандру:
Знаходимо довжину і ширину меандру:
,
Проведемо уточнений розрахунок резистора R1 з урахуванням нерівномірності щільності струму у вигинах.
Топологія резистора с. Виділим...
